Untersuchungen zur Deep-UV-Shearing-Interferometrie für 193nm Excimer-Laserstrahlung mit geringer zeitlicher und räumlicher Kohärenz

Die optische lithography ist inzwischen in den Bereich "tiefer" UV-Wellenlängen (Deep-UV:DUV) vorgestoßen, so dass ach optische Messverfahren in diesem Bereich zunehmendgebraucht werden。Die Übertragung gewöhnlicher干涉仪Verfahren auf DUV-Wellenlängen stellaber inbesonere wegen der mangelhaften zeitlichen und räumlichen Kohärenzeigenschaften von准激光激光und der mitdiesen Wellenlängen verbundenen materialproblem eine beträchtliche Herausforderung dar。安德列斯特尔的测试结果是：Wellenlängen，在西西里岛上，不可能是aussagekräftig。在此基础上，推导出了一种新型的光学光学模型，并对其进行了仿真。本文介绍了一种新型剪切-干涉仪- konzepts - erforscht und demonstriert werden， welches einterseits从Strahlengang她的unempfindich gegens的机制Störungen ist und anderseits wegen der Verwendung衍射Strahlteiler höchste对称的garantiert。剪切-干涉测量技术与应用研究[j]；同时也besondere Maßnahmen im Beleuchtungssystem nötig， um die lateral Kohärenz bei möglichst均质器Ausleuchtung zuminest f<e:1> r diskrete Shear-Werte zu garantieren。

Die optische Lithographie ist inzwischen in den Bereich "tiefer" UV-Wellenlängen (Deep-UV:DUV) vorgestoßen, so dass auch optische Messverfahren in diesem Bereich zunehmend gebraucht werden. Die Übertragung gewöhnlicher interferometrischer Verfahren auf DUV-Wellenlängen stellt aber insbesondere wegen der mangelhaften zeitlichen und räumlichen Kohärenzeigenschaften von Excimer-Lasern und der mit diesen Wellenlängen verbundenen Materialprobleme eine beträchtliche Herausforderung dar. Andererseits sind aber Tests bei Wellenlängen im Sichtbaren oft wenig aussagekräftig. Ein gravierendes Messproblem stellen beispielsweise die Strukturänderungen von Quarzglas bei Bestrahlung mit Excimer-LaserStrahlung bei 193 nm im Makrobereich dar. Hier soll eine neue Variante eines Shearing-Interferometrie-Konzepts erforscht und demonstriert werden, welches einerseits vom Strahlengang her unempfindlich gegenüber mechanischen Störungen ist und andererseits wegen der Verwendung diffraktiver Strahlteiler höchste Symmetrie garantiert. Shearing-Interferometrie verlangt natürlicherweise zumindest räumliche Kohärenz. Hier sind also besondere Maßnahmen im Beleuchtungssystem nötig, um die laterale Kohärenz bei möglichst homogener Ausleuchtung zumindest für diskrete Shear-Werte zu garantieren.