Untersuchungen zur Deep-UV-Shearing-Interferometrie für 193nm Excimer-Laserstrahlung mit geringer zeitlicher und räumlicher Kohärenz

低时空相干性 193nm 准分子激光辐射的深紫外剪切干涉测量研究

• 批准号: 5404834
• 负责人: Professor Dr. Gerd Leuchs
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5404834?language=en
• 关键词: Untersuchungen; zur; Deep; UV; Shearing

Die optische Lithographie ist inzwischen in den Bereich "tiefer" UV-Wellenlängen (Deep-UV:DUV) vorgestoßen, so dass auch optische Messverfahren in diesem Bereich zunehmend gebraucht werden. Die Übertragung gewöhnlicher interferometrischer Verfahren auf DUV-Wellenlängen stellt aber insbesondere wegen der mangelhaften zeitlichen und räumlichen Kohärenzeigenschaften von Excimer-Lasern und der mit diesen Wellenlängen verbundenen Materialprobleme eine beträchtliche Herausforderung dar. Andererseits sind aber Tests bei Wellenlängen im Sichtbaren oft wenig aussagekräftig. Ein gravierendes Messproblem stellen beispielsweise die Strukturänderungen von Quarzglas bei Bestrahlung mit Excimer-LaserStrahlung bei 193 nm im Makrobereich dar. Hier soll eine neue Variante eines Shearing-Interferometrie-Konzepts erforscht und demonstriert werden, welches einerseits vom Strahlengang her unempfindlich gegenüber mechanischen Störungen ist und andererseits wegen der Verwendung diffraktiver Strahlteiler höchste Symmetrie garantiert. Shearing-Interferometrie verlangt natürlicherweise zumindest räumliche Kohärenz. Hier sind also besondere Maßnahmen im Beleuchtungssystem nötig, um die laterale Kohärenz bei möglichst homogener Ausleuchtung zumindest für diskrete Shear-Werte zu garantieren.

光学平版印刷术在深紫外线（Deep-UV：DUV）环境中非常重要，因此光学信息也可以在韦尔登环境中得到应用。Die Übertragung gewöhnlicher interferometrischer Verfahren auf DUV-Wellenlängen stellt aber insbesondere wegen der mangeletten zeitlichen und räumlichen Kohärenzeigenschaften von Excimer-Lasern und der mit diesen Wellenlängen verbundenen Materialprobleme eine beträchtliche Herausforderung dar.因此，在Sichtbaren的健康测试中，我们经常会遇到一些困难。一个严重的问题是在193 nm的准分子激光器照射下石英晶体的结构。这里有一个新的剪切干涉测量方法的变体，它是由韦尔登进行研究和演示的，从激光束上可以看到它的独特的机械结构，并且可以保证最大的对称性。Shearing-Interferometrie verlangt natürlicherweise zumindest räumliche Kohärenz. Hier sind also besondere Maßnahmen im Beleuchtungssystem nötig，um die laterale Kohärenz bei möglichst homogener Ausleuchtung zumindest für diskrete Shear-Werte zu garantieren.