Untersuchungen zur Deep-UV-Shearing-Interferometrie für 193nm Excimer-Laserstrahlung mit geringer zeitlicher und räumlicher Kohärenz
Untersuchungen zur Deep-UV-Shearing-Interferometrie für 193nm Excimer-Laserstrahlung mit geringer zeitlicher und räumlicher Kohärenz
批准号:
5404834
负责人:
Professor Dr. Gerd Leuchs
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants
财政年份:
2003
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2002-12-31 至 2005-12-31
中文摘要
De Optische平版印刷在Den Bereich-Tiefer UV-Wellenlängen(Deep-UV:DUV)vorsteroüen,所以在Diesem Bereich Zunehmend gebraucht中的Optische Messverfahren是如此的达斯。这是一种高精度的激光干涉测量方法,它的主要特点是解决了材料问题。在西西巴伦,许多人都在为自己的生活做测试。这是一个很难解决的问题,因为它是一种新型的半导体激光器,波长193 nm。在这里,新的变化是剪切-干涉的e-konzepts erforscht和demstriert是登,欢迎您从她的一个未发现的lich gegenüber机制,并与它的西部Verwendung Diffraktiver Strahlteer Strahltehhöchste对称式加兰蒂特。剪裁-干涉子宫内壁的剪裁。在这里,我们还可以从两个不同的系统中得到更多的信息,这些信息来自于Ausleuchtung zumindest für diskrete Sear-Werte zu garantieren。
英文摘要
Die optische Lithographie ist inzwischen in den Bereich "tiefer" UV-Wellenlängen (Deep-UV:DUV) vorgestoßen, so dass auch optische Messverfahren in diesem Bereich zunehmend gebraucht werden. Die Übertragung gewöhnlicher interferometrischer Verfahren auf DUV-Wellenlängen stellt aber insbesondere wegen der mangelhaften zeitlichen und räumlichen Kohärenzeigenschaften von Excimer-Lasern und der mit diesen Wellenlängen verbundenen Materialprobleme eine beträchtliche Herausforderung dar. Andererseits sind aber Tests bei Wellenlängen im Sichtbaren oft wenig aussagekräftig. Ein gravierendes Messproblem stellen beispielsweise die Strukturänderungen von Quarzglas bei Bestrahlung mit Excimer-LaserStrahlung bei 193 nm im Makrobereich dar. Hier soll eine neue Variante eines Shearing-Interferometrie-Konzepts erforscht und demonstriert werden, welches einerseits vom Strahlengang her unempfindlich gegenüber mechanischen Störungen ist und andererseits wegen der Verwendung diffraktiver Strahlteiler höchste Symmetrie garantiert. Shearing-Interferometrie verlangt natürlicherweise zumindest räumliche Kohärenz. Hier sind also besondere Maßnahmen im Beleuchtungssystem nötig, um die laterale Kohärenz bei möglichst homogener Ausleuchtung zumindest für diskrete Shear-Werte zu garantieren.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Continuous-variable QUAntum PROcessors for communication and sensing
-
批准号:39871209
-
项目类别:Research Grants
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:2007
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Wellenfrontsensor auf Basis von Ronchi-Shearing-Gittern und mit Polarisationsindizierung zur simultanen Erfassung orthogonaler Richtungsableitungen der Wellenfront
-
批准号:23324843
-
项目类别:Research Grants
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:2006
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Quantendynamik in dissipativen und diskreten Systemen
-
批准号:5423018
-
项目类别:Research Units
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:2004
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Koordinatorantrag im Schwerpunktprogramm "Quanten-Informationsverarbeitung"
-
批准号:5410397
-
项目类别:Priority Programmes
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:2003
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Fiber optic intensity filter for noise suppression and pulse stabilisation in high-bit-rate transmission
-
批准号:5236108
-
项目类别:Priority Programmes
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:2000
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
The Quantum structure of optical solitons and quantum communication
-
批准号:5180892
-
项目类别:Priority Programmes
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:1999
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Absorptionsfreie Messung der Photonenzahl durch optische Soliton-Soliton-Wechselwirkung in Glasfasern
-
批准号:5168978
-
项目类别:Research Grants
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:1999
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Sub-Wellenlängen-Auflösung bei einem Interferenzmikroskop
-
批准号:5171130
-
项目类别:Research Grants
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:1999
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
Robustes, bildgebendes, absolut messendes Interferometer (BAMI) als 3D-Sensor mit großer Höhenauflösung und Meßdistanz und hoher Datenrate
-
批准号:5222144
-
项目类别:Priority Programmes
-
资助金额:$0.0万
-
财政年份:1995
-
负责人:Professor Dr. Gerd Leuchs
-
依托单位:
国内基金
海外基金
锌调蛋白Zur识别两类靶标DNA的结构基础
-
批准号:31700052
-
项目类别:青年科学基金项目
-
资助金额:22.0万元
-
批准年份:2017
-
负责人:明振华
-
依托单位: