Wellenfrontsensor auf Basis von Ronchi-Shearing-Gittern und mit Polarisationsindizierung zur simultanen Erfassung orthogonaler Richtungsableitungen der Wellenfront

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Zur Messung von Wellenfrontdeformationen lässt sich die Shearing-Interferometrie einsetzen. Dabei werden von einem Wellenfeld zwei Kopien erzeugt, die anschließend wieder überlagert werden. Etabliert ist die laterale Shearing-Interferometrie, wobei durch einen lateralen Versatz der Wellenfrontkopien eine Komponente des Gradienten der Wellenfront gemessen wird. Zur Rekonstruktion der Wellenfront sind zwei orthogonale Komponenten des Gradienten erforderlich. Hier sollen beide Komponenten des Gradientenvektors simultan mit einem Zweistrahlverfahren gemessen werden. Die simultane Messung der orthogonalen Komponenten ermöglicht den Einsatz als Wellenfrontsensor. Im Projekt soll eine saubere Trennung von orthogonalen Shearing- Interferogrammen (reine Zweistrahl-Interferogramme) entweder räumlich lateral oder räumlich verschachtelt unter Verwendung einer Polarisationsindizierung erreicht werden, so dass eindeutige Ausweitungen möglich werden. Es wird ein diffraktives S hearingverfahren auf Basis von zwei Ronchi-Phasen Gittern eingesetzt. Im Projekt sind Phasenauswertungen nach dem temporalen und spatialen phase shifting Verfahren vorgesehen, wobei das Interferometerprinzip beide Auswertemöglichkeiten eröffnet.