Robustes, bildgebendes, absolut messendes Interferometer (BAMI) als 3D-Sensor mit großer Höhenauflösung und Meßdistanz und hoher Datenrate

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Das Ziel des Vorhabens ist die Erforschung und der Aufbau eines robusten, bildgebenden 3D-Sensorsystems mit Merkmal-Extraktion in Echtzeit, mit dem Abstände absolut gemessen werden. Im Berichtszeitraum gelang erstmals die dreidimensionale Bildgewinnung bei der Messung an technischen Oberflächen mit dem neuartigen Mehrkanal-Empfang. Mit lediglich einer virtuellen Wellenlänge wurde im Abstand von 400mm bis 600mm eine Meßauflösung von 35 Mikrometern erreicht bei einem Eindeutigkeitsbereich von 2mm. In den letzten eineinhalb Jahren des Projekts soll das Meßsystem auf zwei virtuelle Wellenlängen erweitert und so eine Meßauflösung von wenigen Mikrometern erreicht werden. Ein Ziel das noch aussteht und das auch in der verbleibenden Zeit noch erreicht wird, ist die Merkmal-Extraktion in Echtzeit. Dazu soll die geometrische Form einzelner Höhenlinien eines Meßobjekts schnell und präzise vermessen werden. Aufgrund der bisherigen Ergebnisse erwarten wir, daß für die Messung einer Höhenlinie auf einer Fläche von 1cm2 bei einer lateralen Auflösung von 0,3mm eine Meßzeit von nicht mehr als 0,4s erforderlich ist.