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グロー放電分解アモルファスSiの欠陥とその制御

グロー放電分解アモルファスSiの欠陥とその制御
辉光放电分解非晶硅缺陷及其控制
批准号:
X00040----521545
负责人:
大坂 之雄
金额:
$2.56万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1980
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1980 至 --
关键词:

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Si上のZro_2膜へのasーgrown高温超伝導膜の形成と超伝導素子への応用
  • 批准号:
    03210224
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    大坂 之雄
  • 依托单位:
プラズマCVD法による立方晶BN膜形成への表面反応制御
  • 批准号:
    02214218
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    大坂 之雄
  • 依托单位:
Si上のZrO_2膜へのasーgrown高温超伝導膜の形成と超伝導素子への応用
  • 批准号:
    02226223
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.73万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    大坂 之雄
  • 依托单位:
Si上のZrO_2膜上のasーgrown高温超伝導膜の形成と超伝導素子への応用
  • 批准号:
    01644523
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.6万
  • 财政年份:
    1989
  • 负责人:
    大坂 之雄
  • 依托单位: