光音響顕微鏡による薄膜の熱物性推定用簡易センサーの開発

开发一种简单的传感器，用于使用光声显微镜估计薄膜的热物理特性

• 批准号: 08750250
• 负责人: 南出 章幸
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Kanazawa Technical College
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08750250/
• 关键词: 光音響顕微鏡; 半導体レーザ; PVDF膜センサー; エポキシ系接着剤; 熱物性; 熱拡散率; 非破壊検査

薄膜を使った製品検査のためのセンサーの開発を行うために(1)光源を小型なレーザダイオードに変更し、(2)これまで試料から発生する光音響信号の測定に用いていたマイクロホンを、試料から発生する熱を直接観測できるPVDF膜に変更、(3)開発したセンサーを使って薄膜の熱拡散率を簡単に測定する方法の開発を試みた。得られた結果を以下に示す。1.信号検出センサーの改良これまで使用していたマイクロホンでは試料形状に制約があり、製品検査には使うことが出来なかった。そこで、センサーを焦電効果を有するPVDF膜に変更した。はじめにPVDF膜の厚みと大きさが発生信号に与える影響について検討し、センサーとして適切な膜の条件を実験的に求めた。2,レーザダイオード光源への改良本装置を実用化するために顕微鏡システム全体の小型化を図らなければならない。そこでこれまでのガスレーザから小型のレーザダイオードに光源を変更した。3.計測ソフトの開発薄膜の熱拡散率の推定を誰でもが簡単にできるように計測から定数推定までの自動化を行う計測ソフトも併せて開発した。

The development of thin films for product inspection and test is as follows: (1) the light source is small, the light source is small,(2) the light source is small, the light source is small,(3) the light source is small,(4) the light source is small,(5) the light source is small,(6) the light source is small,(7) the light source is small,(8) the light source is small,(9) the light source is small The results are shown below. 1. Signal detection and improvement of sample shape control, product inspection and improvement of sample shape control The first is to change the color of the film. The thickness of PVDF film is large, and the signal is generated. 2. The improvement of the light source of the micro-mirror and the miniaturization of the whole device. The light source changes when the light source changes. 3. Measurement of thermal dispersion of thin film and development of automatic measurement of thermal dispersion

项目成果

得永 嘉昭: "Estimation of thermal diffusivity of transparent adhesive by photoacoustic microscope with saw wave modulation light" IEICE Transactions. E79-A. 658-660 (1996)

Yoshiaki Tokunaga：“使用锯齿波调制光的光声显微镜估算透明粘合剂的热扩散率”IEICE Transactions E79-A 658-660 (1996)。