光音響顕微鏡による薄膜の熱物性推定用簡易センサーの開発

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薄膜を使った製品検査のためのセンサーの開発を行うために(1)光源を小型なレーザダイオードに変更し、(2)これまで試料から発生する光音響信号の測定に用いていたマイクロホンを、試料から発生する熱を直接観測できるPVDF膜に変更、(3)開発したセンサーを使って薄膜の熱拡散率を簡単に測定する方法の開発を試みた。得られた結果を以下に示す。1.信号検出センサーの改良これまで使用していたマイクロホンでは試料形状に制約があり、製品検査には使うことが出来なかった。そこで、センサーを焦電効果を有するPVDF膜に変更した。はじめにPVDF膜の厚みと大きさが発生信号に与える影響について検討し、センサーとして適切な膜の条件を実験的に求めた。2,レーザダイオード光源への改良本装置を実用化するために顕微鏡システム全体の小型化を図らなければならない。そこでこれまでのガスレーザから小型のレーザダイオードに光源を変更した。3.計測ソフトの開発薄膜の熱拡散率の推定を誰でもが簡単にできるように計測から定数推定までの自動化を行う計測ソフトも併せて開発した。