走査透過型電子顕微鏡法を用いた定量元素マッピング

使用扫描透射电子显微镜进行定量元素图谱

• 批准号: 13F03746
• 负责人: 柴田 直哉
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13F03746/
• 关键词: STEM; 定量化; 粒界; 偏析; 界面; 定量解析; 原子分解能EDSマッピング

本研究では、次世代材料開発の基盤評価技術の確立を目指し、これまで定性的にしか評価し得なかった材料内部の局所元素を、単原子カラムの精度で定量評価する技術を開発する。本技術には電子線を極限まで絞りこむ走査型透過電子顕微鏡法（STEM）をベースとし、電子線と局所原子・電子構造との様々な反応・相互作用を情報源として原子レベルでの定量化を試みる。本年度は、昨年に引き続きYSZ粒界をにおける原子分解能STEM-EDSマッピングを実験的に行い、その結果を本研究で開発した定量評価手法と高度に融合することにより、YSZの粒界偏析現象の本質的な解明を目指した。原子分解能STEM-EDSマッピングの結果、Yイオンが原子レベルで粒界の特異サイトに偏析することが明らかとなったが、Oイオンも同様に粒界に濃化する傾向があることがわかった。この結果が定量的に正しいかどうかを本開発のシミュレーションを用いて理論的に検証した結果、動力学的回折効果はOイオン濃度を実際よりも低く見積もる傾向があることがわかった。つまり、本実験で得られたOイオンが粒界に濃化するという結果は、動力学的効果では説明がつかず、YSZ粒界に本質的な材料現象であることが明らかとなった。

In this study, the development of the next-generation materials is based on the determination of the target, the qualitative analysis, the internal elements of the materials, the accuracy and the accuracy of the materials. This technology provides information on the source information on the anti-interaction of the atomic computers produced by the electronic microanalysis (STEM) and the atomic computers in the bureau of the power lines. This year and last year, we introduced the practice of YSZ-based atomic decomposition analysis and the results of this study. The results of this study show that there is a high degree of integration of quantitative analysis techniques and YSZ particle-boundary segregation indicators. The results of atomic decomposition can be analyzed by STEM-EDS. The results show that there is a significant difference between the results of atomic decomposition, the results of atomic decomposition and the results of atomic decomposition. The results show that the quantitative results show that the results of the theoretical analysis and the dynamic analysis of the results show that there are significant differences between the results of the theoretical analysis and the results of the dynamic analysis. In this paper, we have obtained the results of the chemical treatment of the grain boundary, the results of the dynamics, and the materials of the YSZ grain boundary.

项目成果

Graz University of Technology(Austria)

格拉茨科技大学（奥地利）

Removing the effects of elastic and thermal scattering from spectrum images in scanning transmission electron microscopy

消除扫描透射电子显微镜光谱图像中弹性和热散射的影响

• 发表时间: 2014
• 作者: Lugg;N. R.; Neish;M. J.; Haruta;M.; Findlay;S. D.; Kimoto;K.; Mizoguchi;T.; Kothleitner;G.; Grogger;W.; Hofer;F.; Allen;L. J.
• 通讯作者: L. J.

Practical Aspects of Removing the Effects of Elastic and Thermal Diffuse Scattering from Spectroscopic Data for Single Crystals

从单晶光谱数据中消除弹性和热扩散散射影响的实际问题

• DOI: 10.1017/s1431927614000804
• 发表时间: 2014
• 期刊: Microscopy and Microanalysis
• 影响因子: 2.8
• 作者: Lugg;N. R.; Melissa;N. J.; Findlay;S. D.; Allen;L. J.
• 通讯作者: L. J.

Removing the effects of elastic and thermal scattering from spectrum images

从光谱图像中消除弹性和热散射的影响

• 发表时间: 2014
• 期刊: AMTC letters
• 作者: NR Lugg;MJ Neish;M Haruta;SD Findlay;K Kimoto;T Mizoguchi;G Kothleitner;W Grogger;F Hofer;LJ Allen
• 通讯作者: LJ Allen

What does quantitative mean in EDS STEM?

EDS STEM 中的定量意味着什么？

• 发表时间: 2015
• 作者: N.R. Lugg;G. Kothleitner;B. Feng;N. Shibata and Y. Ikuhara
• 通讯作者: N. Shibata and Y. Ikuhara