Research on technology for fabricating medical and biochemical micro-parts using optical lithography onto cylindrical surfaces of small-diameter pipes
Research on technology for fabricating medical and biochemical micro-parts using optical lithography onto cylindrical surfaces of small-diameter pipes
小口径管材圆柱表面光学光刻制造医疗生化微型零件技术研究
批准号：
26390040
负责人：
HORIUCHI Toshiyuki
金额：
$3.16万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
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同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作
同步扫描投影曝光和化学蚀刻制造微圆柱零件
同步扫描投影曝光和化学蚀刻制造微圆柱零件
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[伊藤海樹, 鈴木佑汰, 堀内敏行]
通讯作者：
堀内敏行
Laser-Scan Lithography onto Ultra-Fine Pipes 100 μm in diameter
在直径 100 μm 的超细管道上进行激光扫描光刻
在直径 100 μm 的超细管道上进行激光扫描光刻
DOI：
10.1117/12.2240158
发表时间：
2016
期刊：
Proc. of SPIE
影响因子：
--
作者：
[Hiroshi Takahashi, Tomoya Sagara, and Toshiyuki Horiuchi]
通讯作者：
and Toshiyuki Horiuchi
小径管内面へのパターン形成と内面パターンの非破壊観察
小直径管内表面图案形成及内表面图案无损观察
小直径管内表面图案形成及内表面图案无损观察
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[堀内敏行, 木村のぞみ]
通讯作者：
木村のぞみ
DOI：
10.7567/jjap.55.06gp13
发表时间：
2016-05
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[T. Horiuchi;Takahiro Furuhata;Hideyuki Muro]
通讯作者：
T. Horiuchi;Takahiro Furuhata;Hideyuki Muro
Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching
使用同步扫描投影光刻和化学蚀刻制造圆柱形微型零件
使用同步扫描投影光刻和化学蚀刻制造圆柱形微型零件
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, and Toshiyuki Horiuchi]
通讯作者：
and Toshiyuki Horiuchi
共 9 条
Optical projection lithography using gradation stitching of the exposure fields
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批准号：11650050
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.11万
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财政年份：1999
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负责人：HORIUCHI Toshiyuki
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依托单位：