课题基金 / 基金详情

低加速SEMによる極微構造デバイス検査法に関する研究

低加速SEMによる極微構造デバイス検査法に関する研究
低加速SEM微结构器件检测方法研究
批准号:
57117002
负责人:
内川 嘉樹
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1982
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1982 至 --
关键词:

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導電性高分子を用いたバイオ・シリコン融合素子に関する研究
  • 批准号:
    12838006
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.47万
  • 财政年份:
    2000
  • 负责人:
    内川 嘉樹
  • 依托单位:
セルカルチャーに対するファジイセルラー自動化モデルに関する研究
  • 批准号:
    98F00293
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.09万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    内川 嘉樹
  • 依托单位:
培養細胞と半導体素子を用いたハイブリット型人工網膜に関する研究
  • 批准号:
    10145105
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1998
  • 负责人:
    内川 嘉樹
  • 依托单位:
免疫情報処理機構を参考にした自律移動ロボットの動的行動制御に関する基礎的研究
  • 批准号:
    08233208
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.15万
  • 财政年份:
    1996
  • 负责人:
    内川 嘉樹
  • 依托单位: