超高温高周波誘導プラズマを利用した多成分系酸化物薄膜の合成

利用超高温高频诱导等离子体合成多组分氧化物薄膜

• 批准号: 61550038
• 负责人: 香川 昌宏
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61550038/
• 关键词: 超高温プラズマ; 酸化物; 薄膜; CVD; 超微粒子

1 薄膜の合成法と合成条件の検討周波数6MHz最高出力15KWの発振器で発生させた5000K以上の超高温アルゴン高周波誘導プラズマ(ICP)に、金属塩の水溶液を霧状にして送り込み、ICP中に置いた石英基板上に酸化物薄膜を生成させる。基板は、均一な膜厚の薄膜を得るために首振り回転装置で駆動されるスラージに載せ、ICPにより600〜1700℃に直接加熱される。2 相の同定と副成分の影響(1)Zr【O_2】薄膜ー膜成長は正方晶Zr【O_2】(t-Zr【O_2】)の生成によって開始し、30mm以上の膜厚では単斜晶Zr【O_2】(m-Zr【O_2】)となる。100nmまでは透明な膜が得られ、それ以上になると透明度を失い、1μm程度の膜厚では柱状の膜となる。3mol%-【Y_2】【O_3】を添加すると生成膜はt-Zr【O_2】となり、10mol%-【Al_2】【O_3】の添加は膜を生成せず、超微粒子の集合体となる。(2)【La_2】【O_3】薄膜ー(002)面が著るしく成長した膜が得られる。(3)NiO薄膜ー(200)面の成長が大きい。超微粒子の集合体ではなく、完全な薄膜として成長している。(4)【Co_3】【O_4】薄膜ー薄膜とはならず、大きく成長した粒子の集合体である。(5)【Cr_2】【O_3】薄膜ー非常に強固な薄膜を形成する。しかし、同じ条件で生成する超微粒子は、直径約1μm×厚さ約0.1μmの円盤状で、配向性を持つ事が期待されるのに対して、薄膜の場合は配向性が認められなかった。3 今後検討すべき項目(1)対象とする薄膜の種類を拡張する事。これには多成分系薄膜も当然含む。(2)微粒子の集合体となるような、例えば、【Co_3】【O_4】の場合でも薄膜となるような生成条件を検討する事。(3)薄膜の物性測定

1 thin film "synthesis method" synthesis conditions, "cycle number" 6MHz maximum output 15KW "vibrator", "ultra-high temperature" above 5000K "ultra-high temperature", "high-cycle"high-cycle" guide "(ICP)", metal "aqueous solution", "water solution", "thin film of acid compound" on quartz substrate in ICP. Substrate temperature, uniform film thickness, temperature, temperature (2) the thin films of Zr [O _ 2] (t-Zr [O _ 2]) begin to form long-term square Zr [O _ 2] (m-Zr [O _ 2]), and the thickness of the film above 30mm begins with the formation of oblique Zr [O _ 2] (Zr [O _ 2]). The 100nm film is transparent, the transparency is lost, the film thickness is 1 μ m, and the cylindrical film is thin. 3mol%-[YBL2] [OBL3] "add particles to form a film" t-Zr [OB02] ", 10mol%-[Al_2] [OB3]" add "membranes" to generate particles, ultrafine particles "aggregates". (2) on the surface of [La_2] [OB3] thin film, the growth of the film is highly effective. (3) the growth and growth of NiO thin films. Ultrafine particles assemble and complete thin films grow and grow. (4) [Co_3] [Olympus 4] thin films, thin films. (5) [Cr_2] [OB3] thin film "very strong" to form a thin film. The ultrafine particles are produced under the same conditions, with a diameter of about 1 μ m × thickness of about 0.1 μ m, a thin film with a diameter of about 1 μ m × a thickness of about 0.1 μ m, a thin film with a diameter of about 1 μ m × a thickness of about 0.1 μ m, a thin film with a thickness of about 0.1 μ m. (3) in the future, we will review the project (1) such as the film industry. The multi-component film of course contains. (2) the formation conditions of microparticles in aggregates, examples, [Co_3] [Olympus 4], and thin films are different from each other. (3) determination of physical properties of thin films.