超薄膜の微視的構造と安定性に関する計算機シミュレーション

超薄膜微观结构和稳定性的计算机模拟

• 批准号: 62550009
• 负责人: 名取 晃子
• 金额: --
• 依托单位: The University of Electro-Communications
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62550009/
• 关键词: 薄膜成長; アニーリング; 成長モード; 計算機シミュレーション

1.格子ガスモデルを用い, 3種の原子過程(吸着, 拡散, 蒸発)を考慮した薄膜成長の, 計算機シミュレーションのプログラムの作製を行う. 蒸着測度, 基板温度T, 蒸着原子間相互作用Eb, 蒸着原子-基板原子間相互作用Eaを成長条件のパラメタとし, 微視的膜構造に対する依存性を解析する.(1)蒸着測度が拡散測度に比べ速過ぎる場合は, 膜構造は荒れる.(2)基板温度R_BTがEbに比べ高過ぎる場合は, 膜構造は荒れる.(3)(1), (2)でない場合, EaZEb出層モード, Eb>Eaで島モードの凝集膜構造を取る.(4)蒸発過程を考慮すると, 単原子濃度は減少し, 臨界核のサイズは増加する.2.冷たい基板上に積らせた薄膜のアニーリングの計算機シミュレーションを, Metropolis法により行う. 格子ガスモデルを用い, 蒸着原子のhoppingによる緩和のみを考慮する.(1)Ea/k_BT, Eb/k_BT-面内で, 膜構造は, 層モード, 島モード, 荒れた膜の3つの領域に大別される.(2)島モードにおける凝集は, アニーリング時間と共に進行し, 島の平均サイズは, 試料のサイズによって決まる大きさ迄成長する.(3)島の成長機構は, 基板上への島からの単原子蒸発と他の島への捕獲と, 質の拡散による合体の, 2種の共存で起こる.

1. The grid ガ ス モ デ ル を い, three の atomic process (sorption, company, steamed 発) を consider し た film growth の, computer シ ミ ュ レ ー シ ョ ン の プ ロ グ ラ ム の cropping う を line. Steamed measure, substrate temperature T, steamed the interatomic interactions Eb, steamed - substrate atoms interaction between Ea を growth conditions の パ ラ メ タ と し, slightly depending on the membrane structure of に す seaborne る dependency を parsing す る. (1) the steamed measure が company, loose measure に べ speed than a ぎ は る situations, Membrane structure は drought れ る. (2) substrate temperature R_BT が Eb に than べ above ぎ は る situations, membrane structure は drought れ る. (3) (1), (2) で な い occasions, EaZEb out layer モ ー ド, Eb > Ea で island モ ー ド の agglutination membrane structure を る. (4) the process of steaming 発 を consider す る と, 単 は reduce し atomic concentration, The critical core サ サ ズ ズ ズ increases する.2. Cold た い substrate に product ら せ た film の ア ニ ー リ ン グ の computer シ ミ ュ レ ー シ ョ ン を, Metropolis method に よ う り line. Grid ガ ス モ デ ル を い, steamed atomic の hopping に よ る ease の み を consider す る. (1) Ea/k_BT, Eb/k_BT - in-plane で, membrane structure は, layer モ ー ド, island モ ー ド, wild れ た membrane の 3 つ の field に comparing さ れ る. (2) the island モ ー ド に お け る agglutination は, ア ニ ー リ ン グ time と し に, total average island の サ イ ズ は, sample の サ イ ズ に よ っ て definitely ま る big き さ effect growth す る. (3) the island は の growth mechanism, the substrate へ の island か ら の 単 atoms evaporate 発 と island he の へ の capture と, qualitative の company, scattered に よ る fit の, coexistence of two の で up こ る.