Entwicklung und Aufbau eines Stehende-Wellen-Interferometers

驻波干涉仪的研制与构建

• 批准号: 5220368
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gerd Jäger
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5220368?language=en
• 关键词: Entwicklung; und; Aufbau; eines; Stehende

Das Grundprinzip ausnahmslos aller für technische Längenmessungen angewendeten Laserinterferometer beruht auf der Teilung eines Lichtstrahls in zwei Teilstrahlen und deren Interferenz unter gleicher Ausbreitungsrichtung (Michelson-Interferometer). Das Ergebnis dieser Interferenz kann mit den bekannten photoelektrischen Auflichtdetektoren registriert werden. Ein anderer, für interferometrische Anwendungen bisher ungenutzter Interferenzeffekt ist die Überlagerung eines orthogonal auf einen Spiegel auftreffenden Strahls mit dem reflektierten Strahl zu einer optischen stehenden Welle. Im Unterschied zu den bekannten Interferometern findet nicht die Teilung eines Lichtstrahls statt, sondern es kommt zur Interferenz von Strahlen entgegengesetzter Ausbreitungsrichtung. Deshalb kann diese Interferenzstruktur nur mit einem photoelektrisch aktiven und teilweise transparenten Photosensor (transparentes photoaktives Bauelement) abgetastet werden. Die Vorteile eines optischen Stehende-Wellen-Interferometers bestehen in den zu erwartenden extrem geringen, auf den Laserstrahl an sich reduzierten geometrischen Abmessungen sowie in der ausschließlichen Nutzung modernster Hochtechnologien und damit der Eignung zur Massenproduktion. Die Einsatzmöglichkeiten eines Stehende-Wellen-Interferometers als Längenmeßsystem reichen vom Maschinenbau bis hin zur Mikrosystemtechnik.

这一基本原理是将激光干涉仪应用于两种不同的光辐射，并通过迈克尔逊干涉仪（Michelson干涉仪）进行干涉。这种干扰可以通过光电探测器记录韦尔登来实现。另一方面，对于干涉测量，更好的干涉效果是在一个反射镜上正交的一条直线，该反射镜具有一个光学强度更高的韦勒。在被测干涉仪测量时，没有发现任何光的状态，因此它是对被测激光的干涉。这种干涉结构只能用一个光电激励器和一个光敏传感器（光敏元件）来实现。这种光学Stehende-Wellen干涉仪最适合于极端情况下的激光测量，它可以减少现代高技术和大规模生产中的几何误差。Die Einsatzmöglichkeiten eines Stehende-Wellen-Interferometers als Längenmeßsystem reichen vom Maschinenbau bis hin zur Mikrosystemtechnik.