Entwicklung und Aufbau eines Stehende-Wellen-Interferometers

点击翻译按钮获取中文摘要

Das Grundprinzip ausnahmslos aller für technische Längenmessungen angewendeten Laserinterferometer beruht auf der Teilung eines Lichtstrahls in zwei Teilstrahlen und deren Interferenz unter gleicher Ausbreitungsrichtung (Michelson-Interferometer). Das Ergebnis dieser Interferenz kann mit den bekannten photoelektrischen Auflichtdetektoren registriert werden. Ein anderer, für interferometrische Anwendungen bisher ungenutzter Interferenzeffekt ist die Überlagerung eines orthogonal auf einen Spiegel auftreffenden Strahls mit dem reflektierten Strahl zu einer optischen stehenden Welle. Im Unterschied zu den bekannten Interferometern findet nicht die Teilung eines Lichtstrahls statt, sondern es kommt zur Interferenz von Strahlen entgegengesetzter Ausbreitungsrichtung. Deshalb kann diese Interferenzstruktur nur mit einem photoelektrisch aktiven und teilweise transparenten Photosensor (transparentes photoaktives Bauelement) abgetastet werden. Die Vorteile eines optischen Stehende-Wellen-Interferometers bestehen in den zu erwartenden extrem geringen, auf den Laserstrahl an sich reduzierten geometrischen Abmessungen sowie in der ausschließlichen Nutzung modernster Hochtechnologien und damit der Eignung zur Massenproduktion. Die Einsatzmöglichkeiten eines Stehende-Wellen-Interferometers als Längenmeßsystem reichen vom Maschinenbau bis hin zur Mikrosystemtechnik.