Entwicklung eines Mess- und Antriebssystems für eine 3D-Präzisions-Messmaschine

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Die räumliche Vermessung komplexer Körpergeometrien mit Nanometerauflösung wird künftig in der Fertigungstechnik sowie in der Mikromechanik und Mikrosystemtechnik von grundlegender Bedeutung sein. Für Körpergeometrien mit linearen Abmessungen von 0,1 mm bis 1 dm sind jedoch keine hochauflösenden und hochgenauen 3D-Messverfahren und Messgeräte bekannt. Das Vorhaben sieht deshalb die Schaffung der Grundlagen für eine 3D-Präzisions-Messmaschine vor. Es werden planare Antriebskonzepte untersucht bei gleichzeitiger Integration laserinterferometrischer Messverfahren in die Gesamtkonzeption. Damit werden die Grundlagen für die räumliche Vermessung von Körpergeometrien mit einem Messvolumen von (100x100x10) mm³ gelegt. Durch die Ergänzung mit einem laserinferometrischen Antastsystem für die Probenantastung in z-Richtung wird eine 3D-Präzisions-Messmaschine geschaffen. Als geeignete Antriebslösungen werden luftgeführte planare Direktantriebe untersucht. Weiterhin sollen theoretische Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung eines magnetisch geführten planaren Antriebssystems durchgeführt und in wesentlichen Parametern messtechnisch unterstützt werden.