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超精密能動型空気静圧軸受の基礎的研究

超精密能動型空気静圧軸受の基礎的研究
超精密主动空气静压轴承基础研究
批准号：
62750099
负责人：
青山 尚之
金额：
$0.58万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1987
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1987 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62750099/
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超小型自走機械による薄膜プロセスの精密制御
  • 批准号：
    07750138
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    青山 尚之
  • 依托单位：
    Shizuoka University
汎用機械と超小型自走機械との共存協調による精密作業
  • 批准号：
    06750118
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    青山 尚之
  • 依托单位：
    Shizuoka University
精密加工計測用の超小型自走機械とその組織化制御
  • 批准号：
    05750114
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    青山 尚之
  • 依托单位：
    Shizuoka University
超小型精密自走機械群の協調制御と表面形状測定の試み
  • 批准号：
    04750099
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    青山 尚之
  • 依托单位：
    Shizuoka University