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超小型精密自走機械群の協調制御と表面形状測定の試み

超小型精密自走機械群の協調制御と表面形状測定の試み
超小型精密自走机械协同控制与面形测量的尝试
批准号:
04750099
负责人:
青山 尚之
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1992
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1992 至 --
关键词:

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超小型自走機械による薄膜プロセスの精密制御
  • 批准号:
    07750138
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    青山 尚之
  • 依托单位:
汎用機械と超小型自走機械との共存協調による精密作業
  • 批准号:
    06750118
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.58万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    青山 尚之
  • 依托单位:
精密加工計測用の超小型自走機械とその組織化制御
  • 批准号:
    05750114
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.58万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    青山 尚之
  • 依托单位:
加工・測定機能を有する超小型自走機構群とその遠隔分散制御
  • 批准号:
    03855017
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.58万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    青山 尚之
  • 依托单位: