加工・測定機能を有する超小型自走機構群とその遠隔分散制御
加工・測定機能を有する超小型自走機構群とその遠隔分散制御
批准号:
03855017
负责人:
青山 尚之
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1991
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1991 至 --
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会议论文
超小型自走機械による薄膜プロセスの精密制御
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批准号:07750138
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1995
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
汎用機械と超小型自走機械との共存協調による精密作業
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批准号:06750118
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1994
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
精密加工計測用の超小型自走機械とその組織化制御
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批准号:05750114
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1993
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
超小型精密自走機械群の協調制御と表面形状測定の試み
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批准号:04750099
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1992
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
微小3次元空間測定用フィンガープローブ(機構の設計と試作)
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批准号:01750106
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1989
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
ナノメータ分解能を有する超精密6自由度制御機構の基礎的研究
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批准号:63750106
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1988
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
超精密能動型空気静圧軸受の基礎的研究
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批准号:62750099
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1987
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负责人:青山 尚之
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依托单位:
直線運動精度の精密測定に関する研究
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批准号:60750107
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1985
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负责人:青山 尚之
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依托单位: