Nanocharakterisierung ferroelektrischer Domänen mittels nahfeld-akustischer Rastermikroskopien

使用近场声扫描显微镜对铁电域进行纳米表征

基本信息

项目摘要

In der Halbleiterindustrie erlangen ferroelektrische Werkstoffe wie Bariumtitanat immer mehr an Bedeutung und erschließen z.B. bei der Entwicklung von neuen Speichermedien basierend auf den Eigenschaften ferroelektrischer Domänen immer weitere Anwendungsgebiete. Abbildungen sowie Charakterisierungen dieser ferroelektrischen Domänenstrukturen werden somit unerläßlich. Infolgedessen wurden in den letzten Jahren viele Anstrengungen unternommen, um Meßmethoden zu entwickeln, die dies ermöglichen. Der Antragsteller entwickelte Nahfeld-Detektionsverfahren, mit denen erstmals Vergleichsuntersuchungen der ferroelektrischen Domänen der BaTiO3 Keramiken mit der Raster-ElektronAkustik-Mikroskopie und der Raster-Nahfeld-Akustik-Mikroskopie im Nanometerbereich durchführbar waren. Dabei konnte zum ersten Mal gezeigt werden, daß sich möglicherweise die ferroelektrische Struktur an der Keramikoberfläche von der des Volumens unterscheidet. Da dieser Sachverhalt einen sehr großen Einfluß auf die oben beschriebenen Anwendungsgebiete besitzt, sind weiterführende Untersuchungen das wesentliche Ziel dieses Projekts. Ebenso sollen bei unterschiedlichen Abscheidungsprozessen der Keramiken die Einflüsse auf das ferroelektrische Verhalten analysiert werden.
在盐碱地工业中,所有的铁电都是从现在开始的,而不是像现在这样,这是一个新的基础。他说:“这是一件非常重要的事情。”在未来的日子里,我将永远活着,我将永远活着,我将死去。Anggregsteller entwickelte Nahfeld-Detektionsverfahren,MIT denstmals vergleichsuntersuhugen der Iron elektrischen Domänen der BaTi03 Keramiken MIT der Raster-ElektronAkustik-Mikroskopie and der Raster-Nahfeld-Akustik-Mikroskopie im Nanometerterbereich duchführbar waren。他说:“这是一件非常重要的事情,因为这是一件非常重要的事情。他说:“这是一件很重要的事情,我不知道怎么做。在此基础上,我们进行了铁电分析。

项目成果

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