Nanocharakterisierung ferroelektrischer Domänen mittels nahfeld-akustischer Rastermikroskopien

在半导体工业埃尔兰根铁电材料中，钡钛合金总是梅尔比和比。在新一代电力电子技术的基础上，国内的电力电子技术一直处于领先地位。Abbildungen sowie Charakterisierungen dieser ferroelektrischen Domänenstrukturen韦尔登somit unerläßlich.在过去的几年里，信息将被广泛使用，并采用改进的方法，使其更加有效。该分析仪通过在BaTiO 3陶瓷的铁电畴内使用光栅-电子-微电极和在纳米范围内使用光栅-Nahfeld-微电极进行了多种测试。Dabei konnte zum ersten Mal gezeigt韦尔登韦尔登，dabelsich möglicherweise die ferroelektrische Struktur an der Keramikoberfläche von der des Volumens unterscheidet.这个Sachverhalt的影响力很大，因为它对我们的项目有很大的影响。因此，必须对铁电分析韦尔登的影响进行深入的研究。

In der Halbleiterindustrie erlangen ferroelektrische Werkstoffe wie Bariumtitanat immer mehr an Bedeutung und erschließen z.B. bei der Entwicklung von neuen Speichermedien basierend auf den Eigenschaften ferroelektrischer Domänen immer weitere Anwendungsgebiete. Abbildungen sowie Charakterisierungen dieser ferroelektrischen Domänenstrukturen werden somit unerläßlich. Infolgedessen wurden in den letzten Jahren viele Anstrengungen unternommen, um Meßmethoden zu entwickeln, die dies ermöglichen. Der Antragsteller entwickelte Nahfeld-Detektionsverfahren, mit denen erstmals Vergleichsuntersuchungen der ferroelektrischen Domänen der BaTiO3 Keramiken mit der Raster-ElektronAkustik-Mikroskopie und der Raster-Nahfeld-Akustik-Mikroskopie im Nanometerbereich durchführbar waren. Dabei konnte zum ersten Mal gezeigt werden, daß sich möglicherweise die ferroelektrische Struktur an der Keramikoberfläche von der des Volumens unterscheidet. Da dieser Sachverhalt einen sehr großen Einfluß auf die oben beschriebenen Anwendungsgebiete besitzt, sind weiterführende Untersuchungen das wesentliche Ziel dieses Projekts. Ebenso sollen bei unterschiedlichen Abscheidungsprozessen der Keramiken die Einflüsse auf das ferroelektrische Verhalten analysiert werden.