Nanocharakterisierung ferroelektrischer Domänen mittels nahfeld-akustischer Rastermikroskopien

在der Halbleiterindustrie erlangen ferroelektrische Werkstoffe Werkstoffe为barumitatime和Werkstoffe为barumitatime和Werkstoffe为berumatime和Werkstoffe为berumatime和Werkstoffe为berumitme。Abbildungen sowie Charakterisierungen dieser ferroelektrischen Domänenstrukturen werden somit unerläßlich。Infolgedessen wurden in den letzten Jahren viele anstrenungen unternommen, um Meßmethoden zu entwickeln, die dies ermöglichen。Der Antragsteller entwickelte Nahfeld-Detektionsverfahren, mit denen erstals Vergleichsuntersuchungen Der ferroelektrischen Domänen Der BaTiO3 Keramiken mit Der Raster-ElektronAkustik-Mikroskopie and Der Raster-Nahfeld-Akustik-Mikroskopie in nanoterbereich durchhhrbar waren。Dabei konnte zum ersten Mal gezeigt werden, dasß sich möglicherweise die ferroelektrische Struktur and der Keramikoberfläche von der des Volumens unterscheidet。Da dieser Sachverhalt einen sehr großen Einfluß auf die oben beschriebenen Anwendungsgebiete besitzt, de weiterfhrende Untersuchungen das wesentlich Ziel dieses projects。本研究的目的是为了更好地分析铁电子的结构和结构。

In der Halbleiterindustrie erlangen ferroelektrische Werkstoffe wie Bariumtitanat immer mehr an Bedeutung und erschließen z.B. bei der Entwicklung von neuen Speichermedien basierend auf den Eigenschaften ferroelektrischer Domänen immer weitere Anwendungsgebiete. Abbildungen sowie Charakterisierungen dieser ferroelektrischen Domänenstrukturen werden somit unerläßlich. Infolgedessen wurden in den letzten Jahren viele Anstrengungen unternommen, um Meßmethoden zu entwickeln, die dies ermöglichen. Der Antragsteller entwickelte Nahfeld-Detektionsverfahren, mit denen erstmals Vergleichsuntersuchungen der ferroelektrischen Domänen der BaTiO3 Keramiken mit der Raster-ElektronAkustik-Mikroskopie und der Raster-Nahfeld-Akustik-Mikroskopie im Nanometerbereich durchführbar waren. Dabei konnte zum ersten Mal gezeigt werden, daß sich möglicherweise die ferroelektrische Struktur an der Keramikoberfläche von der des Volumens unterscheidet. Da dieser Sachverhalt einen sehr großen Einfluß auf die oben beschriebenen Anwendungsgebiete besitzt, sind weiterführende Untersuchungen das wesentliche Ziel dieses Projekts. Ebenso sollen bei unterschiedlichen Abscheidungsprozessen der Keramiken die Einflüsse auf das ferroelektrische Verhalten analysiert werden.