Analyse von Hochleistungsbauelementen mit Hilfe protoneninduzierter Ladungen

在动力技术中，动力学建筑元素的作用也越来越大，在能源技术中，动力学建筑元素的作用也越来越大，梅尔也越来越重要。Die greßen Spannungen，für die diese Bauelemente ausgelegt韦尔登，erfordern pn-Übergänge，die tief im Inneren der Bauteile liegen. Eine vielversprechende Möglichkeit，um diese elektronischen Eigenschaften analysieren zu können，bietet der Einspector von hochenergetischen Protonen（IBIC）. EBIC-Verfahren hat es neben der wesentlich größeren Eindringtiefe den Vorteil，daheidich die Ionen aufgrund ihrer größeren Masse wesentlich geringer von den elektrischen Feldern ablenken lassen，was sich besonders beim Einstrumen von Vorspannungen an den pn-Übergängen ausquickt.在新加坡国立大学的2 MeV-范-德格拉夫-贝塞斯达机组下，第一个IBIC-在该机组上进行了沃登。Dabei hat sich gezeigt，daß sich trotz der greßen Dimensionen der Bauteile tiefer liegende Raumladungszonen abbilden lassen。

Hochleistungsbauelemente gewinnen sowohl in der Antriebstechnik als auch in der Energietechnik immer mehr an Bedeutung. Die großen Spannungen, für die diese Bauelemente ausgelegt werden, erfordern pn-Übergänge, die tief im Inneren der Bauteile liegen. Eine vielversprechende Möglichkeit, um diese elektronischen Eigenschaften analysieren zu können, bietet der Einsatz von hochenergetischen Protonen (IBIC). Gegenüber dem EBIC-Verfahren hat es neben der wesentlich größeren Eindringtiefe den Vorteil, daß sich die Ionen aufgrund ihrer größeren Masse wesentlich geringer von den elektrischen Feldern ablenken lassen, was sich besonders beim Einsatz von Vorspannungen an den pn-Übergängen auswirkt. Unter Einsatz eines 2 MeV-van-der Graaff-Beschleunigers der National University of Singapore sind erste IBIC-Untersuchungen in der Arbeitsgruppe des Antragstellers an lichtzündbaren Hochleistungs-Thyristoren durchgeführt worden. Dabei hat sich gezeigt, daß sich trotz der großen Dimensionen der Bauteile tiefer liegende Raumladungszonen abbilden lassen.