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無機超微粒子への感光性樹脂のグラフト及び耐エッチング性レジスト材料への応用

无机超细颗粒感光树脂接枝及其在耐蚀刻抗蚀材料中的应用

基本信息

批准号：
63550681
负责人：
坪川紀夫
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Niigata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本課題では、無機超微粒子として超微粒子シリカ(平均粒子径、16nm)と超微粒子酸化チタン(平均粒子径、90〜150nm)とを選び、粒子表面への感光性ポリマーのグラフト及びそのレジスト材料への応用について検討した結果、以下のような研究所成果が得られた。1.無機超微粒子をγ-マリシドキシプロピルトリメトキシシランで処理することにより導入したグリシジル基と4.4[^<´]>-アゾビス(4-シア)バレリン酸)との反応による、粒子表面へのアゾ基の導入法を確立した。2.アゾ基を導入した無機超微粒子により、クロルメチルスチレンやメタクリル酸グリシジル、ラジカル重合が開始され、粒子表面へ効率よくこれらの感光性ポリマーがグラフト(グラフト率=30〜80%)することを見い出した。また、グラフト鎖の分子量は連鎖移動剤を添加することにより、ある程度調節できることもわかった。3.無機超微粒子を4-メトキシテトラヒドロ無水フタル酸、ついで水酸化カリウムど処理することにより、粒子表面へ導入したカリウムカルボン酸塩基により、感光性基を持つエポキシドと酸無水物とのアニオン開環交互共重合が開始され、感光性ポリエステルが粒子表面へグラフトすることを明らかにした。4.感光性ポリマーグラフト超微粒子を分散させたポリマーの引っ張り強度は、未処理の超微粒子を分散させたものとは異なり、超微粒子を多量に配合してもあまり低下しないことがわかった。また、グラフト率が大きい程、その効果も大きいことが明らかになった。5.高グラフト率の感光性ポリマーグラフト無機超微粒子を高濃度で分散させた材料の電子線レジストとしての解像度や耐エッチング性を未処理のものを分散させた材料と比較したところ、これらの性能には大きな差異は認められなかった。

In this project, the selection of inorganic ultrafine particles (average particle diameter, 16nm) and ultrafine particles (average particle diameter, 90 ~ 150nm), the photosensitivity of particle surface, and the application of ultrafine particles to materials were studied. The results of the following research institutes were obtained. 1. The method of introducing γ-ray particles into the surface of inorganic ultrafine particles was established. 2. The introduction of inorganic ultrafine particles into the surface of the particles, such as inorganic ultrafine particles, inorganic ultrafine particles. In addition, the molecular weight of the gelatin chain can be adjusted to a certain extent by adding a chain transfer agent. 3. Inorganic ultrafine particles are prepared by 4-D chemical treatment, particle surface modification, acid radical modification, photosensitive radical modification, acid anhydrate modification, open-loop interaction modification, photosensitive radical modification, particle surface modification. 4. Photosensitivity Ultrafine Particles Dispersion Strength Untreated Ultrafine Particles Dispersion Strength The main reason for this is that the number of people in the city is very high, and the number of people in the city is very high. 5. High sensitivity, high concentration of inorganic ultrafine particles, high resolution, high resistance, high dispersion of inorganic ultrafine particles, high dispersion of inorganic ultrafine particles