Elektrostatische Korrektur des axialen Farb- und Öffnungsfehlers von Teilchenlinsen

静电校正粒子透镜的轴向颜色和孔径误差

• 批准号: 5246272
• 负责人: Professor Dr. Harald Rose (†)
• 金额: --
• 依托单位: Zentrale Einrichtung Elektronenmikroskopie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5246272?language=en
• 关键词: Elektrostatische; Korrektur; des; axialen; Farb

Teilchenoptische Strahlführungssysteme in der Elektronen- und Ionenoptik sind üblicherweise aus rotationssymmetrischen, elektromagnetischen Linsen aufgebaut. Diese Linsen besitzen nach Scherzer immer positive Farb- und Öffnungsfehler und sind somit in ihrem Auflösungsvermögen stark eingeschränkt. Die Korrektur dieser Fehler in der Elektronenoptik mit rein elektrischen Feldern besitzt gegenüber der üblichen Korrektur mit überlagerten elektrischen und magnetischen Feldern mehrere Vorteile. Elektrische Felder lassen sich schnell, präzise und reproduzierbar justieren. Für Magnetfelder ist wegen der Remanenz der Spulenkerne und der damit verbundenen Hysterese-Effekte eine solche Justierung nicht möglich. In der Ionenoptik ist die Korrektur mit realistischen magnetischen Feldern wegen der Abhängigkeit der Fokussierung von der Masse kaum durchführbar, während dies mit elektrischen Feldern möglich ist, weil dann die Fokussierung nur von der Teilchenenergie abhängt.Leider wurde bisher noch kein elektrostatischer Korrektor gefunden, obgleich Scherzer bereits 1947 gezeigt hat, dass die chromatische Korrektur von Systemen mit gerader Achse mit rein elektrischen Feldern prinzipiell möglich ist. Im Rahmen der Förderung soll das realisierbare Design eines elektrostatischen Korrektors zur Kompensation des Farb- und Öffnungsfehlers entwickelt werden.

电子和离子光学中的激光束传输系统是由旋转对称、电磁场驱动的。这种林森被带到Scherzer总是积极的Farb-和Offnungsfehler和sind somit在他们的Auflösungsvermögen stark eingeschränkt。Die Korrektur dieser Fehler in der Elektronenoptik mit rein elektrischen Feldern besitzt gegenüber der üblichen Korrektur mit überlagerten elektrischen und magnetischen Feldern mehrere Vorteile. Elektrische Felder lassen sich schnell，präzise and reproduzierbar schoolen. Für Magnetfelder ist wegen der Remanenz der Spulenkerne und der damit verbundenen Hysterese-Effekte eine solche Justierung nicht möglich.在电离光学中，利用实际的磁场测量方法，可以获得质量场的能量吸收，而利用电磁测量方法，可以获得更大的能量吸收，因为只有能量场才能吸收能量。这一点在1947年被Scherzer发现，系统的色度校正和电子测量原理是一致的。Im Rahmen der Förderung soll das realisierbare Design eines elektrostatischen Korrektors zur Kompensation des Farb- und Öffnungsfehlers entwickelt韦尔登.