课题基金 / 基金详情

反応性イオンエッチングにおける仕上がり形状形成メカニズムの解明

反応性イオンエッチングにおける仕上がり形状形成メカニズムの解明
阐明反应离子蚀刻中的成品形状形成机制
批准号：
03750093
负责人：
角田 陽
金额：
$0.58万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03750093/
关键词：

项目摘要

项目成果

角田 陽的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
数値計算，数理解析，宇宙実験による燃焼限界の統一理論構築に関する研究
  • 批准号：
    24KJ0401
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.96万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tohoku University
バイオフィルム形成抑制のためのナノ・マイクロテクスチャ創成面探索
  • 批准号：
    22K03849
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.66万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo National College of Technology
RIEによる微小3次元自由曲面形状の創成に関する研究
  • 批准号：
    12750101
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan University
RIEにおける基板温度制御による仕上がり形状創成メカニズムの解析
  • 批准号：
    08750150
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan University