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プラズマ分光分析による反応性イオンエッチングのマイクロ形状形成過程の解析

使用等离子体光谱分析反应离子蚀刻中的微形状形成过程

基本信息

批准号：
06750129
负责人：
角田陽
金额：
$ 0.58万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750129/
关键词：
反応性イオンエッチング微細加工

项目摘要

近年,微小な機械に注目が集まっており,その加工技術の確立が要求されている.このような加工技術には,主に,半導体製造技術の応用が検討されているが,加工技術として体系化する試みは少ない.そこで,本研究では,半導体製造技術の1つである反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching,RIE)に注目し,微小な機械の加工技術としての確立を図った.すなわち,RIEの形状創成過程の解明のひとつとして,プラズマ分光分析による形状創成過程の観察を行った.RIEでは,気相中で,平行平板に電力を印加することで反応気体をプラズマ化し,プラズマ中のイオンやラジカルなどで,物理的・化学的に被加工材をエッチングする.プラズマでは,励起された原子や分子がもとのエネルギレベルに戻るときに放出するエネルギは,各々の物質に固有の波長の光となる.したがって,プラズマ中の原子・分子の種類とその量が同定できれば,RIEの形状創成過程が推定できるものと考えられる.そこで,本研究では,RIEにおける加工時の時間経過ならびにさまざまな加工条件のうち圧力のみを変えた場合の2つについて,プラズマの発光状態を分光分析によって測定し,RIEの形状創成過程を観察した.その結果,時間経過によって,マスクの消失や堆積物の発生が観測され,形状創成に影響を及ぼすことがわかった.また,創成される形状が圧力によって変化することは,圧力によってプラズマ中のイオン等の発生物質とその発生量が変化するためと考えられる.

In recent years, micro machinery has attracted much attention, and there are many requirements for the establishment of processing technology. The main purpose of this study is to systematize the processing technology of semiconductor manufacturing processes. In this paper, we focus on the establishment of Reactive Ion Etching (RIE) in semiconductor manufacturing technology. RIE is a process of shape creation, which can be observed by spectroscopic analysis.RIE is a process of shape creation, which can be observed by spectroscopic analysis. RIE is a process of physical and chemical processing. The light emitted from the atoms and molecules is the light of the wavelength inherent in each substance. The type and quantity of atoms and molecules in RIE are constant, and the shape creation process of RIE is presumed. In this study, the time lapse of RIE processing time was measured by spectroscopic analysis, and the shape formation process of RIE was observed. As a result, time lapse, disappearance, accumulation, generation, shape creation, influence and influence of time lapse. The shape of the material is changed by the pressure, and the biomass produced by the material is changed by the pressure.