反応性イオンエッチングにおける金属薄膜レジストグマイクロ形状形成に及ぼす影響

金属薄膜抗蚀剂对反应离子刻蚀微形形成的影响

• 批准号: 05750125
• 负责人: 角田 陽
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750125/
• 关键词: 反応性イオンエッチング; 微細加工

集積回路(LSI)製造プロセスにおいて回路形状の形成に用いられている反応性イオンエッチング(RIE)技術を応用して、微細構造部品(マイクロマシン)の形状形成を行う試みがあるが、RIEの加工原理では、形状形成時にマスクとなるレジスト材も同時にエッチングがなされるため、LSI製造に一般的に用いられている有機系レジスト材を使用した場合、深溝形状の形成は困難である。そこで、本研究では、金属系レジスト材を用いることでその問題を解決することを試みた。そして、RIEにおける金属系レジスト材とエッチング条件および仕上がり形状との間の関係を実験的に明らかにした。本研究では、以下のことを明らかにした。(1)金属薄膜レジストとしてAl、Ni薄膜を具体的対象を選択し、有機系レジスト材を加えた3種類について、耐エッチング性の検討を行った。その結果、金属レジスト材は、有機系のものと比較して、耐エッチング性は20倍以上との結果が得られた。またAlとNiの比較では、Niの方が耐エッチング性は優れていた。これは、Niの方が融点が高いことによるものと考えられる。(2)(1)の結果をもとに、金属系レジスト材を用いたRIEを行ったところ、有機系のそれを使った場合と比較して、深いエッチングが可能となり、また、異方性の高い形状の創成も可能となった。すなわち、金属系レジスト材を用いることによって、微細構造部品のための形状創成にRIEが有効となることが確認された。(3)エッチング条件と仕上がり形状の関係は、有機系レジスト材を用いた場合の結果を、傾向として、そのままほぼ適応が可能であることを明らかにした。ただし、金属レジスト材を成分とする重合物の堆積が生じてしまう欠点があることが明らかとなり、金属系レジスト材を用いる場合、この問題を解決しなければならない。

Integrated circuit (LSI) production process for the formation of circuit shape in the use of reactive film (RIE) technology, micro-structure components (LSI) shape formation test, RIE processing principle, shape formation time, material and at the same time, the use of reactive film (RIE) technology LSI production in general use, organic materials to use, deep groove shape formation is difficult This paper tries to solve the problem of metal system material application. The relationship between the metal and the RIE is clear. This study is based on the following observations. (1)Metal thin films include Al and Ni thin films, and organic thin films include three kinds of materials. The results show that the resistance of metal and organic materials is more than 20 times that of organic materials. Al and Ni are better than each other. The two sides of the table are separated by a single layer of water. (2) The result is that the metal and organic systems can be used to create new shapes. The shape of the micro-structural component is confirmed by RIE. (3)The relationship between the shape and the organic system is the result of the application of the organic system. The problem of the accumulation of the composition of the metal and the metal materials is solved when the metal and the metal materials are used.