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RIEによる微小3次元自由曲面形状の創成に関する研究

RIEによる微小3次元自由曲面形状の創成に関する研究
RIE创建微小三维自由曲面形状的研究
批准号：
12750101
负责人：
角田 陽
金额：
$1.41万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
2000
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2000 至 2001
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-12750101/
关键词：
反応性イオンエッチング自由曲面単結晶シリコン

项目摘要

项目成果

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RIE(反応性イオンエッチング)では,被加工材構成分子に対して,等方的な化学的エッチングと方向性のある物理的エッチングが同時に起きるので,その反応割合を制御することによって,3次元的な微小自由曲面の製作が可能となる.そこで,本研究では,RIEのエッチング条件と反応割合の関係を明確化し,RIEによる3次元的な微小自由曲面の製作技術を確立することを目的としている.具体的には,本年度は,被加工材の単結晶シリコンウエハについてのエッチング実験によって創成される3次元微小形状の詳細な観察と,励起気体分子のうち,物理的反応に寄与する分子と化学的反応に寄与する分子のそれぞれの組成と数量を質量分析手法によって解析した結果とを比較解析をおこない,物理的反応に寄与する分子と化学的反応に寄与する分子のそれぞれの組成の同定とその数量を解析し,それらと創成形状の関係を明らかにした.さらに,物理的エッチングと化学的エッチングの反応割合と創成形状の関係を明らかにし,3次元自由曲面の創成メカニズムの解明をはかった.
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
土井祐輔, 古川勇二, 諸貫信行, 角田陽: "規則形状面へのMBEによるナノテクスチャ面の創成〜円形穴を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャ〜"2001年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. (印刷中). (2001)
Yusuke Doi、Yuji Furukawa、Nobuyuki Moronuki、Yo Tsunoda：“通过 MBE 在规则形状的表面上创建纳米纹理表面 - 排列有圆形孔的 (111) 硅表面上的纹理 -”2001 年日本精密工程学会秋季会议集上的学术演讲论文（2001 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
土井祐輔, 古川勇二, 諸貫信行, 角田陽: "規則形状面へのMBEによるナノテクスチャ面の創成〜直線を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャ〜"2002年度精密工学会春季大会学術講演論文集. (印刷中). (2002)
Yusuke Doi、Yuji Furukawa、Nobuyuki Moronuki、Yo Tsunoda：“通过 MBE 在规则形状的表面上创建纳米纹理表面 - 以直线排列的 (111) 硅表面上的纹理 -” 2002 年精密工程学会春季会议集上的学术演讲论文（正在出版）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
数値計算，数理解析，宇宙実験による燃焼限界の統一理論構築に関する研究
  • 批准号：
    24KJ0401
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.96万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tohoku University
バイオフィルム形成抑制のためのナノ・マイクロテクスチャ創成面探索
  • 批准号：
    22K03849
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.66万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo National College of Technology
RIEにおける基板温度制御による仕上がり形状創成メカニズムの解析
  • 批准号：
    08750150
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan University
RHEEDによるインプロセス表面形状解析に関する基礎的研究
  • 批准号：
    07855019
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    角田 陽
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan University
国内基金
海外基金
面向光刻机异形曲面反射镜热形貌控制的自由曲面红外激光空间调控关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRMS202600518
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    华中农业大学
单点金刚石车削大口径光学自由曲面原位测量方法
  • 批准号：
    JCZRYB202500133
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
  • 依托单位：
    武汉科技大学
四边形网格自由曲面单层网壳结构自动生成与优化设计方法研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    曾强
  • 依托单位：
蓝宝石自由曲面光学元件的超精密集成制造工艺链及创成机理研究
  • 批准号：
    52305460
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    王生
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学