Electrical Properties of Ceramic Thin Film Prepared by Sol-gel Method

溶胶-凝胶法制备陶瓷薄膜的电学性能

基本信息

  • 批准号:
    03650222
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.28万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1991
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1991 至 1992
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

New technologies for preparing various thin films have recently been developed. Among those, the sol-gel method is of particular interest since it can produce super-fine powders with a high degree of surface activation by hydrolysis of metal alkoxides under controlled conditions.This study dealt with ZrO_2, SiO_2, and TiO_2 thin films and the electrical properties (resistivity, dielectric constant) of three thin films prepared by sol-gel method. The following two items were investigated:(1) Electrical properties of ZrO_2 thin film prepared due to the difference of the atmosphere in thermal processing.(2) Thin film properties (SiO_2, TiO_2) when glass was used as substrate.(1) Thermal processing in the atmosphere of O_2 is useful for the decomposition and oxidization of residual polymers.(2) Increasing the thermal processing temperature is reasonable for the increase of the film's resistivity.(3) It is possible to control the thickness of the thin film due to the addition of polymers in the sol.(4) As the combination between thin film and glass substrate is due to the chemical reaction, the stress in the thin film occurs.
最近已经开发了用于制备各种薄膜的新技术。本文研究了溶胶-凝胶法制备的ZrO_2,SiO_2和TiO_2薄膜及其电性能(电阻率、介电常数)。(1)不同热处理气氛对ZrO_2薄膜电学性能的影响。(2)以玻璃为衬底时的薄膜性质(SiO_2、TiO_2)。(1)在氧气气氛中热处理有利于残余聚合物的分解和氧化。(2)提高热处理温度有利于提高薄膜电阻率。(3)由于在溶胶中添加聚合物,可以控制薄膜的厚度。(4)由于薄膜与玻璃衬底之间的结合是由于化学反应,薄膜中产生应力。

项目成果

期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
西岡 貴輝: "ゾル-ゲル法によるセラミック薄膜の作製とその膜物性" 電気学会放電・誘電・絶縁材料合同研究会資料. DEI-92-57. 1-10 (1992)
Takateru Nishioka:“溶胶-凝胶法制备陶瓷薄膜及其物理性能”日本电气工程师学会放电、介电和绝缘材料联合研究组材料(1992)。 )
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
T.Nishioka et al: "Internal Stress of SiO_2 Thin Film Prepared by Sol-gel Method and Its Relation to Electrical Properties ." Tohoku Branch, Annual Meeting of IEE of Japan. 1J-13. (1992)
T.Nishioka等:“溶胶-凝胶法制备的SiO_2薄膜的内应力及其与电性能的关系”。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
西岡 貴輝: "ゾル-ゲル法によって作製したSiO_2薄膜の内部応力と電気的特性との関連性" 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集. 1J13. 399- (1992)
Takateru Nishioka:“溶胶-凝胶法制造的SiO_2薄膜的内应力与电性能的关系”电气工程学会东北分会会议记录1J13。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
吉村 昇: "ゾル-ゲル法により作製されたZrO_2薄膜の電気的特性" 電気学会論文誌(A). 112. 61-67 (1992)
Noboru Yoshimura:“溶胶-凝胶法制备的ZrO_2薄膜的电性能”日本电气工程师学会会刊(A)112. 61-67(1992)。
  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
橋本 正人: "ゾル-ゲル法によるBaTiO_3薄膜の作製とその電気的特性" 平成4年電気学会全国大会講演論文集. 415. 3-205 (1992)
桥本正人:《溶胶-凝胶法制备BaTiO_3薄膜及其电性能》日本电机学会1992年全国会议论文集415. 3-205(1992)。
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    $ 1.28万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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