超精密切削による単結晶シリコンの極薄片化に関する研究
超精密切削による単結晶シリコンの極薄片化に関する研究
批准号:
04750089
负责人:
柴田 隆行
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1992
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1992 至 --
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Sample-to-Answerを実現する多検体・多項目遺伝子検査システムの開発
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批准号:24K00776
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$11.81万
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财政年份:2024
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
ナノニードルアレイを用いたマスクレス微細金属パターン創成技術の開発
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批准号:21656038
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项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额:$2.05万
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财政年份:2009
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
MEMS技術を用いたオンチップ細胞ネットワーク機能解析デバイスの開発
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批准号:19650115
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项目类别:Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额:$2.05万
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财政年份:2007
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
次世代ナノ加工・計測システムのためのダイヤモンドプローブの開発
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批准号:17656046
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项目类别:Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额:$2.24万
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财政年份:2005
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
ダイヤモンド製マイクロチップによるDNA解析の高能率化の実現
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批准号:13750662
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项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额:$1.47万
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财政年份:2001
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
PZT薄膜を搭載した圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMプローブの開発
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批准号:11750197
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$1.41万
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财政年份:1999
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
ダイヤモンド加工探針の知能化によるナノ計測一体型超微細加工システムの開発
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批准号:09750279
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1998
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
次世代ナノリソグラフィーのための知的ナノ加工システムに関する研究
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批准号:08750293
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1996
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
分子動力学法によるナノ切削機構の原子論的アプローチに関する研究
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批准号:07750125
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.7万
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财政年份:1995
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
100MHz帯極薄板水晶振動子のエキシマレーザ加工技術に関する研究
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批准号:06750726
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1994
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负责人:柴田 隆行
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依托单位:
魔鏡トポグラフによる単結晶シリコン超精密切削面のインプロセス計測に関する研究
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批准号:05750105
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1993
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负责人:柴田 隆行
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依托单位: