Reshaping of silicon microstructures by laser

激光重塑硅微结构

• 批准号: 5252828
• 负责人: Professor Dr. Joachim Frühauf
• 金额: --
• 依托单位: Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5252828?language=en
• 关键词: Reshaping; silicon; microstructures; laser

Die plastische Hochtemperaturumformung von Mikrostrukturelementen (MSE) ist derzeit die einzige Möglichkeit, diesen Elementen Formen zu verleihen, die durch Materialabtrag (z.B. Ätzen, Mikrobearbeitung, Laserablation) allein nicht erzielbar sind. Als Novum können die umgeformten Bereiche der Mikrostrukturelemente aus der Waferebene herausragen und neue Richtungen erhalten. die von der Arbeitsgruppe ausgeführten technolgisch orientierten Untersuchungen zur Einführung der plastischen Verformung von Silizium in die Mikrotechnik zeigen, daß eine Laserumformung von Silizium ebenfalls möglich ist. Als Vorteile für den Einsatz der Laserstrahlung zur Umformung von Silizium kommen in Betracht...

微结构件（MSE）的塑性高温成形是一种简单的成形方法，它是通过材料拉伸（z.B. Mikrobearbeitung，Laserablation）allein nicht erzielbar sind. Als Novum können die umgeformten Bereiche der Mikrostrukturelemente aus der Waferebene herausragen and neue Richtungen erhalten. die von der Arbeitsgruppe ausgeführten technolgisch orientierten Untersuchungen zur Einführung der plastischen Verformung von Silizium in die Mikrotechnik zeigen，dazzeine Laserumformung von Silizium ebenfalls möglich ist. Als Vorteile für den Einspectors der Laserstrahlung zur Umformung von Silizium kommen in Betracht.