Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Siliziummikrotechnik

Es sollen Sollerblenden planisiert für energiedispersive Röntgenbeugung（EDD）und für kostengünstige und Platz sparende Anwendungen der winkeldispersiven Röntgenbeugung（WDD）entwickelt韦尔登. EDD测试仪的主要功能是为材料分析提供移动、精确和可靠的解决方案。在100 keV能量下，获得的轫致辐射和磁致伸缩能，产生一个新的谱线，进行原位分析，并在Tiefen上获得磁致伸缩能的特性，这是一个与WDD磁致伸缩能相结合的Vielfaches。Es韦尔登unterschooledliche Lösungen sowohl für die Kollimation im Primärstrahl als auch im gebeugten Strahl entwickelt，deren Eignung für unterschooledliche Anwendungsfälle geprüft wird.光线最好是从我们的眼睛里射出来的。该芯片由结构和金属化的芯片制成，该芯片由一种硅晶片制成，但该硅晶片具有很好的韦尔登性能。Silizium ist für diese Anwendung besonders geeignet，denn es zeichnet sich durch hohe Festigkeit，rein elastisches Verhalten，gute Wärheitfähigkeit，geringe thermische Ausdehnung und gute Korrosionsbeständigkeit aus. ...

Es sollen Sollerblenden miniaturisiert für energiedispersive Röntgenbeugung (EDD) und für kostengünstige und Platz sparende Anwendungen der winkeldispersiven Röntgenbeugung (WDD) entwickelt werden. Der Einsatz dieser Sollerblenden mittels EDD trägt wesentlich dazu bei, dass ein mobiles, preiswertes und robustes Gerät für die Materialanalyse bereitgestellt wird. Die Ausnutzung des gesamten Bremsspektrums und die Möglichkeit dieses bis zu einer Strahlenenergie von 100 keV auszudehnen, gestatten eine schnelle, prozessnahe in situ Analyse und die Charakterisierung verdeckter Schichten bis zu Tiefen, welche ein Vielfaches der mit WDD möglichen beträgt. Es werden unterschiedliche Lösungen sowohl für die Kollimation im Primärstrahl als auch im gebeugten Strahl entwickelt, deren Eignung für unterschiedliche Anwendungsfälle geprüft wird. Die Röntgenoptiken bestehen im Wesentlichen aus gestapelten Lagen. Die Stapellagen bestehen aus strukturierten und metallisierten Chips, die aus einkristallinen Siliziumwafern hoher Ebenheit angefertigt werden. Silizium ist für diese Anwendung besonders geeignet, denn es zeichnet sich durch hohe Festigkeit, rein elastisches Verhalten, gute Wärmeleitfähigkeit, geringe thermische Ausdehnung und gute Korrosionsbeständigkeit aus. ...