Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Siliziummikrotechnik

将分散的Röntgenbeugung(EDD)和Für Kostengünstige and Platz parende Anwendungen der winkeldissiven Röntgenbeugung(WDD)缠绕在一起。在此基础上，提出了一种新的解决方案，并对其性能进行了分析。他说：“这是一项非常重要的工作，因为这是一项非常重要的工作。”这些都是来自中国的L先生和他的朋友们所做的努力。从我的Wesentlichen Aus Gegapelten Lagen开始，你就会发现他的存在。从结构和金属晶片的角度来看，这是一种很好的选择。在安文东的国家里，有几个人，他们的名字是什么，我的名字是什么，我的名字是什么？..。

Es sollen Sollerblenden miniaturisiert für energiedispersive Röntgenbeugung (EDD) und für kostengünstige und Platz sparende Anwendungen der winkeldispersiven Röntgenbeugung (WDD) entwickelt werden. Der Einsatz dieser Sollerblenden mittels EDD trägt wesentlich dazu bei, dass ein mobiles, preiswertes und robustes Gerät für die Materialanalyse bereitgestellt wird. Die Ausnutzung des gesamten Bremsspektrums und die Möglichkeit dieses bis zu einer Strahlenenergie von 100 keV auszudehnen, gestatten eine schnelle, prozessnahe in situ Analyse und die Charakterisierung verdeckter Schichten bis zu Tiefen, welche ein Vielfaches der mit WDD möglichen beträgt. Es werden unterschiedliche Lösungen sowohl für die Kollimation im Primärstrahl als auch im gebeugten Strahl entwickelt, deren Eignung für unterschiedliche Anwendungsfälle geprüft wird. Die Röntgenoptiken bestehen im Wesentlichen aus gestapelten Lagen. Die Stapellagen bestehen aus strukturierten und metallisierten Chips, die aus einkristallinen Siliziumwafern hoher Ebenheit angefertigt werden. Silizium ist für diese Anwendung besonders geeignet, denn es zeichnet sich durch hohe Festigkeit, rein elastisches Verhalten, gute Wärmeleitfähigkeit, geringe thermische Ausdehnung und gute Korrosionsbeständigkeit aus. ...