Investigation of condensation and evaporation of calcium fluoride crystals by molecular beam methods and atomic force microscopy

用分子束法和原子力显微镜研究氟化钙晶体的凝结和蒸发

• 批准号: 5255390
• 负责人: Professor Dr. Klaus Wandelt
• 金额: --
• 依托单位: Clausius-Institut für Physikalische und Theoretische Chemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5255390?language=en
• 关键词: Investigation; condensation; evaporation; calcium; fluoride

Obgleich Calciumfluorid (CaF2) u. a. für das Wachstum dünner epitaktischer Schichten auf Silizium und wegen seiner optischen Eigenschaften für die Mikrolithographie von großem technischen Interesse ist, sind das Wachstum von CaF2-Kristallen selbst aus dem Dampf und der hierzu inverse Prozeß, die Verdampfung, bisher praktisch nicht untersucht worden. In dem vorliegenden Forschungsvorhaben soll die Ermittlung der grundlegenden Wachstums- und Verdampfungsmechanismen von CaF2 durch die Kombination von Molekularstrahlverfahren und Atomkraftmikroskopie erfolgen. Dazu sollen einzelne, die Kondensation und Verdampfung beherrschende kinetische Parameter, wie Kondensationskoeffizient, mittlerer Diffusionsweg, Verweilzeit und Oberflächendiffusionskoeffizient, in Abhängigkeit von Temperatur und Sättigungsverhältnis gemessen sowie die entstandenen Oberflächentopographien durch direkte Abbildung mit bis zu atomarer Auflösung bestimmt werden. Da beim CaF2 die Gleichgewichts-(Spalt-)fläche (111) und die Wachstumsfläche (100) nicht zusammenfallen, sollen Untersuchungen für (111)- und (100)- aber auch für (110)-Flächen duchgeführt werden.

氟化钙(CaF2)u.a.für das Wachstum dünner topaktischer Schichten auf Silizium and wegen seiner optischen Eigenschaften für die Mikrotratischen Eigenschaften für die Mon grischen Technischen Interesist，sind das Wachstum von CaF2-Kristallen Selbst Aus Dem Dampf and der hierzu Inverprozeü，die Verdampfung，Bisher Praktisch Nicht untersuht ht Worden.在DEM vvliegenden Forschungsvorhaben soll die Ermittlung der grundLegenden Wachstum-and Vermedpgermmachisse von CaF2 dch die kombination von Molekularstrahlverfahren and ame kraftmikroskopie erfolgen.根据运动参数，即凝聚系数、扩散系数、扩散系数和扩散系数，在不同的温度和温度下，不同的温度和不同的温度下，不同的温度和不同的温度下，不同的温度和不同的温度下，不同的温度和不同的温度也不同。达贝姆CaF2模具Gleichgewicters-(Spalt-)fläche(111)和die Wachstumsfläche(100)nick ht ht zusamen，Sollen Untersuhugen für(111)-und(100)-aber auchfür(110)-FläChen duchgeführt werden。