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Alternative MOCVD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb

用于沉积 AlSb、GaSb 和 InSb 的替代 MOCVD 前驱体

基本信息

批准号：
5404548
负责人：
Professor Dr. Klaus Wandelt
金额：
--
依托单位：
Clausius-Institut für Physikalische und Theoretische Chemie
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2003
资助国家：
德国
起止时间：
2002-12-31 至 2005-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5404548?language=en
关键词：
Alternative MOCVD Precursoren zur Abscheidung

项目摘要

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