Synthese neuer Phasen im ternären System B-C-N

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Im zurückliegenden Berichtszeitraum ist es gelungen, bor-, kohlenstoff- und stickstoffhaltige Schichten mit Hilfe des PACVD-Verfahrens herzustellen. Die geplanten Forschungsvorhaben gelten der Fortsetzung der bisher durchgeführten Untersuchungen. Die aus Pyridinboran hergestellten Schichten sollen mittels TEM bezüglich ihrer Zusammensetzung und Struktur eingehender charakterisiert werden. Außerdem sind detaillierte Untersuchungen der physikalischen Eigenschaften der Schichten geplant.Von großem Interesse ist der Mechanismus der Bildung von c-BN bzw. c-BCN bei der CVD-technischen Herstellung der BCN-Schichten, der mit Hilfe der Massenspektrometrie bestimmt werden soll.In den bisherigen Arbeiten hat sich gezeigt, daß die Phasenzusammensetzung der BCN-Schichten erheblich von der Ätzwirkung des im Plasma gebildeten atomaren Wasserstoffs auf die nicht- kubischen Phasen abhängig ist. In diesem Zusammenhang ist geplant, die Ätzrate in Abhängigkeit von Plasmazusammensetzung (Verhältnis Ar/H2), Druck, Mikrowellenleistung und Substrattemperatur zu untersuchen.Für diese Untersuchungen ist es außerdem von Vorteil, mit größerer Mikrowellenleistung und höherer Plasmadichte zu arbeiten. Daher soll die CVD-Anlage mit einer Mikrowellen-Down-StreamQuelle ausgerüstet werden, die die Erzeugung eines sehr dichten Plasmas ermöglicht, mit dem die Bildung nicht-kubischer Phasen unterbunden werden kann.