Synthese neuer Phasen im ternären System B-C-N

三元体系B-C-N新相的合成

• 批准号: 5259636
• 负责人: Professor Dr. Fritz Aldinger
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für Intelligente Systeme
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5259636?language=en
• 关键词: Synthese; neuer; Phasen; im; tern

Im zurückliegenden Berichtszeitraum ist es gelungen, bor-, kohlenstoff- und stickstoffhaltige Schichten mit Hilfe des PACVD-Verfahrens herzustellen. Die geplanten Forschungsvorhaben gelten der Fortsetzung der bisher durchgeführten Untersuchungen. Die aus Pyridinboran hergestellten Schichten sollen mittels TEM bezüglich ihrer Zusammensetzung und Struktur eingehender charakterisiert werden. Außerdem sind detaillierte Untersuchungen der physikalischen Eigenschaften der Schichten geplant.Von großem Interesse ist der Mechanismus der Bildung von c-BN bzw. c-BCN bei der CVD-technischen Herstellung der BCN-Schichten, der mit Hilfe der Massenspektrometrie bestimmt werden soll.In den bisherigen Arbeiten hat sich gezeigt, daß die Phasenzusammensetzung der BCN-Schichten erheblich von der Ätzwirkung des im Plasma gebildeten atomaren Wasserstoffs auf die nicht- kubischen Phasen abhängig ist. In diesem Zusammenhang ist geplant, die Ätzrate in Abhängigkeit von Plasmazusammensetzung (Verhältnis Ar/H2), Druck, Mikrowellenleistung und Substrattemperatur zu untersuchen.Für diese Untersuchungen ist es außerdem von Vorteil, mit größerer Mikrowellenleistung und höherer Plasmadichte zu arbeiten. Daher soll die CVD-Anlage mit einer Mikrowellen-Down-StreamQuelle ausgerüstet werden, die die Erzeugung eines sehr dichten Plasmas ermöglicht, mit dem die Bildung nicht-kubischer Phasen unterbunden werden kann.

[3] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Die geplanten Forschungsvorhaben gelten der fortssetzung der schher durchgeften Untersuchungen。[3] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [3]aue ß edem sind detaillierte Untersuchungen der physikalischen Eigenschaften der Schichten geplant。Von großem Interesse ist der Mechanismus der Bildung Von c-BN bzw。c-BCN为cvd技术，Herstellung为BCN-Schichten， Hilfe为massenspectre的最佳估计。在den bisherigen arbeen，这是一个gezeigen， dasß die Phasenzusammensetzung der BCN-Schichten erheblich von der Ätzwirkung des im Plasma gebildeten atomaren Wasserstoffs auf die夜- kubischen Phasen abhängig ist。In diesem Zusammenhang ist geplant, die Ätzrate In Abhängigkeit von Plasmazusammensetzung (Verhältnis Ar/H2), Druck, Mikrowellenleistung and substrattemperature zu untersuchen。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Daher soll die cvd - anlagage mit iner microwellen - down - streamquelle ausger<e:1> stet werden, die die erzeeugung eines sehr dichten plasma ermöglicht, mit die Bildung nicht-kubischer Phasen underbunden werden kann。