成長速度に異方性をもつ結晶を利用した微小部品の作製

利用生长速率各向异性的晶体制造微型零件

• 批准号: 05750116
• 负责人: 中本 剛
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750116/
• 关键词: 微小部品; 結晶成長; 成長速度の異方性; ヨウ素酸リチウム; 高アスペクト比

最近,mumオーダの機械部品の作製が注目を浴びている.これらの研究は半導体リソグラフィの技術を応用したシリコンでできたマイクロストラクチュア作製がその始まりとされている.これらの部品を実用に供する場合,シリコン以外の素材でできた高いアスペクト比(高さ/幅)をもつ微小部品の作製が必要になることがある.このような目的に合致した方法として,SOR光を利用したLIGAプロセスがあるが,この方法では,作製のための設備が高価になり,手軽に使用できない欠点がある.本研究では,高いアスペクト比をもつ微小部品を簡便に作製する方法を開発することを目的とした.そのための手法として,まず最初に,結晶方向によって成長速度に大きな差をもつ単結晶を使って高アスペクト比の型を作る.次に,この型を基にして電鋳加工などを行うことによって高アスペクト比をもつ微小金属部品を作製する方法を使用した.本年度は,これらの工程のうち,高アスペクト比の型を作る工程について検討し,方向によって成長速度が著しく異なる単結晶として,ヨウ素酸リチウムを使用した.結晶端面に写真製版法を応用してパターンを描き,その後,ヨウ素酸リチウムを飽和させた水溶液中で結晶を成長させて,結晶端面と垂直な方向に高いアスペクト比をもつ構造の作製が可能かどうかを検討した.その結果,結晶端面と垂直な方向にはパターンの形状のまま成長することはなく,六角柱状の単結晶として成長する.しかし,かなりアスペクト比の高い構造の作製が期待できることがわかった.そこで,最大成長速度をもつ方向をそろえた多結晶の端面にパターンを描き,パターン形状のまま,最大成長速度の方向に高いアスペクト比をもつ構造を作製することを検討している.

Recently, mum オ ー ダ の が attention the mechanical product の cropping を bath び て い る. こ れ ら の research は semiconductor リ ソ グ ラ フ ィ の technology を 応 with し た シ リ コ ン で で き た マ イ ク ロ ス ト ラ ク チ ュ ア cropping が そ の beginning ま り と さ れ て い る. こ れ ら の part を be used for す に る occasions, シ リ コ ン の outside material で で き た high い ア ス ペ ク ト ratio (high さ / picture) を も つ が necessary the tiny part の cropping に な る こ と が あ る. こ の よ う な purpose に close to し た method と し て, SOR light を using し た journalist on プ ロ セ ス が あ る が, こ の way で は, cropping の た め の equipment が high 価 に な り, hand 軽 に use で き な い points less が あ る. This study で は, high い ア ス ペ ク ト than を も つ tiny part simple を に cropping す る method を open 発 す る こ と を purpose と し た. そ の た め の gimmick と し て, ま ず initially に, crystallization direction に よ っ て に growing big き な poor を も つ 単 crystallization を make っ て high ア ス ペ ク ト type than の を る. Time に こ の を matrix に し て electricity where processing な ど を line う こ と に よ っ て high ア ス ペ ク ト than を も つ す the tiny metal part を cropping を る method using し た. This year は こ れ ら の engineering の う ち, high ア ス ペ ク ト type than の を る engineering に つ い て 検 for し, direction に よ っ て growth が the し く different な る 単 crystallization と し て, ヨ ウ element acid リ チ ウ ム を use し た. Crystal face に photo plate making method を 応 with し て パ タ ー ン を tracing き, そ の after ヨ ウ element acid リ チ ウ ム を saturated さ せ た in aqueous solution crystallization で を growth さ せ て, crystal face high vertical direction な に と い ア ス ペ ク ト than を も つ が may the tectonic の cropping か ど う か を beg し 検 た. そ の as a result, the crystal face と な vertical direction に は パ タ ー ン の の shape ま ま growth す る こ と は な く, six Angle shape の 単 crystallization と し て growth す る. し か し, か な り ア ス ペ ク ト が looking forward to the higher than の い tectonic の cropping で き る こ と が わ か っ た. そ こ で, maximum growth rate を も つ direction を そ ろ え た crystallization の end face more に パ タ ー ン を tracing き, パ タ ー ン shape の ま ま, maximum growth rate high に い の direction Youdaoplaceholder0 ト ト is more constructed and fabricated than を ト ト する とを検 とを検 とを検 than て る る.