アモルファス酸化物磁性薄膜に関する研究

非晶氧化物磁性薄膜的研究

• 批准号: 05750301
• 负责人: 加島 篤
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Kitakyushu National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750301/
• 关键词: アモルファス; スパッタリング; 磁性薄膜

高周波反応性スパッタ法によって作製したFe_2O_3-BaTiO_3系磁性酸化物薄膜の結晶構造と磁気特性を調べた。ここで試料は,作製後にゆるやかな熱処理(1℃/minで昇温し,所定の熱処理温度で一定時間保持した後,徐冷する。)を施している。磁化の組成依存性と熱処理温度依存性を調べた結果,最大4piMs=1.72KGに達する飽和磁化を得たが,X戦回折の結果から強磁性を発現する結晶相を同定することはできなかった。Fe_2O_3-BaTiO_3系膜では,その強磁性の起源が,大気中熱処理後にもかかわらず膜中に存在するアモルファス相にあることが,電子線回折等によって明らかになっておりBaTiO_3系膜の場合も同様の強磁性アモルファス相が存在する可能性がある。一方,加熱した電気炉内に試料を素早く挿入し,一定時間経過した後に大気中で急冷する急速熱処理を施したところ,ゆるやかな熱処理の場合と同程度の磁化が現れたが,結晶の存在を示す回折線は認められなかった。これは,急速な熱処理によって,アモルファス強磁性相中の非磁性結晶の核形成が妨げられた結果と考えられる。以上の結果により,BaTiO_3系膜においてもアモルファス強磁性相が存在することが確認された。また,非磁性結晶相を含まない強磁性アモルファス薄膜の電気的特性等の測定が可能になった。今後は,透過型電顕を用いた観察やXPSスペクトルの測定に加えてFe原子の回りの局所的原子配列を解明するためEXAFSの測定と解析を行い,強磁性の発現機構の解明を進展させる必要がある。

Crystal Structure and Magnetic Properties of Fe_2O_3-BaTiO_3 Magnetic Acid Thin Films Prepared by High Frequency Reactivity Method The sample is subjected to heat treatment after preparation (1℃/min temperature rise, set heat treatment temperature is maintained for a certain period of time, and then cooled). I'm going to do it. The composition dependence of magnetization and the temperature dependence of heat treatment are adjusted to the maximum of 4piMs=1.72KG. The saturation magnetization is obtained, and the X inversion results in the crystallization phase of ferromagnetism. Fe_2O_3-BaTiO_3 films have the origin of ferromagnetism and the possibility of the existence of the same ferromagnetic phase after heat treatment in high temperature. In one case, the sample is heated in the electric furnace early, and after a certain time, the rapid heat treatment is applied in the middle of the heat treatment, and the magnetization of the same degree appears, and the existence of crystallization is recognized. The rapid heat treatment results in the nucleation of nonmagnetic crystals in ferromagnetic phase. These results confirm the existence of ferromagnetic phases in BaTiO_3 films. It is possible to measure the electrical properties of ferromagnetic thin films containing nonmagnetic crystalline phases. In the future, it is necessary to make progress in the determination and analysis of XPS and XPS for the determination and analysis of Fe atoms and the atomic arrangement of Fe atoms.

项目成果

加島 篤: "Fe_2O_3-Bi_2O_3-BaTiO_3系スパッタ膜の磁性" 北九州工業高等専門学校研究報告. 27. 43-46 (1994)

Atsushi Kashima：“Fe_2O_3-Bi_2O_3-BaTiO_3基溅射薄膜的磁性”北九州工业大学研究报告书27. 43-46（1994年）。

藤井 壽崇: "Fe-B-O系スパッタ薄膜による高応答性容量型感湿センサ" 電気学会マグネテックス研究会資料. MAG-93-216. 1-10 (1993)

Toshitaka Fujii：“使用 Fe-B-O 溅射薄膜的高响应电容式湿度传感器”，日本电气工程师学会 Magnetex 研究组的材料，MAG-93-216 (1993)。

加島 篤: "高周波反応性スパッタ法による鉄基磁性酸化物薄膜の磁気および誘導特性" 豊橋技術科学大学 博士論文, 173 (1993)

Atsushi Kashima：“高频反应溅射产生的铁基磁性氧化物薄膜的磁性和感应特性”丰桥工业大学博士论文，173（1993）