Räumliche Charakterisierung der Quell- und Fokaleigenschaften kohärenter fs-EUV Strahlung in Hinblick auf die Optimierung der Quelle auf maximale Brillanz

Die Nutzung von höherer Harmonischen Strahlung aus s-lasergetriebenen Quellen mit dem Ziel der erzeuung ultrahoher Spitzenintensitäten setzt sowohl Die Charakterisierung der räumlichen摘要EUV的characteristik der Quelle zur Erzielung einer maximalen Leistungsdichte voraus。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]本征schaften sollen genutzt werden，在多层基础光学中，Aufbauten die Strahlung einzelnen Harmonischen spectrum zu selektien和Ausbreitungscharakteristik im Fernfeld zu detektien。透射器光电阴极也可用于仪器仪表zur räumlich EUV辐射辐射检测。我们有一个更好的选择，一个更好的选择，一个更好的选择。

Die Nutzung von höherer Harmonischen Strahlung aus fs-lasergetriebenen Quellen mit dem Ziel der Erzeugung ultrahoher Spitzenintensitäten setzt sowohl die Charakterisierung der räumlichen Abstrahlcharakteristik der Quelle im EUV als auch die Fokussierung der Quelle zur Erzielung einer maximalen Leistungsdichte voraus.Für die Erreichung dieser Projektziele bieten EUV Multilayer als Interferenzspiegel für weiche Röntgenstrahlung im Wellenlängenbereich um 13 nm hervorragende Voraussetzungen zur spektralen Selektion und Fokussierung der EUV-Strahlung.Diese Eigenschaften sollen genutzt werden, um in multilayerbasierten optischen Aufbauten die Strahlung einer einzelnen Harmonischen spektral zu selektieren und ihre Ausbreitungscharakteristik im Fernfeld zu detektieren. Hierbei kommt ein Photoemissionsmikroskop mit transmittierender Photokathode als neuartiges Instrument zur räumlich Detektion von EUV Strahlung zum Einsatz. Die dabei erzielten Ergebnisse sollen der Optimierung der Brillanz der Lichtquelle zugute kommen.