気相合成ダイヤモンド膜の光学材料への適用に関する研究

气相合成金刚石薄膜在光学材料中的应用研究

• 批准号: 06750116
• 负责人: 平田 敦
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750116/
• 关键词: 気相合成; ダイヤモンド; 光学材料

良質のダイヤモンドが高速の合成可能なアーク放電プラズマジェットCVD法により,透明なダイヤモンドが得られる条件について検討した.通常,メタン濃度を4〜5%とすることで数百μm/hの合成速度で黒色不透明のダイヤモンドが得られるが,メタン濃度を1%以下,合成速度を10μm/h以下とすることで透光性に優れるダイヤモンド膜が得られることがわかった.また,合成前の基板処理を変化させてダイヤモンド合成を行った結果,核発生密度の高い条件の方が合成したままのダイヤモンド膜の透光性は優れることがわかった.しかし,このダイヤモンド膜の両面を研磨すると,核生成密度以外の合成条件が等しい場合は核生成密度によらず透光性が等しく,赤外分光分析の結果,波長10μmでの光透過性は約70%であった.研磨はダイヤモンド砥石により機械的に行ったが,割れ等は発生せず,機械的強度の点で光学材料として十分使用可能であることわかった.

Good quality の ダ イ ヤ モ ン ド が high-speed の synthesis may な ア ー ク discharge プ ラ ズ マ ジ ェ ッ ト CVD method に よ り, transparent な ダ イ ヤ モ ン ド が must ら れ る conditions に つ い て beg し 検 た. Usually, メ タ ン 4 ~ 5% concentration を と す る こ と で hundreds of mu m/h の synthesis speed で opaque black color の ダ イ ヤ モ ン ド が have ら れ る が, メ タ を ン concentration below 1%, synthesis of 10 mu m/h the following speed を と す る こ と で transparent に optimal れ る ダ イ ヤ モ ン ド membrane が must ら れ る こ と が わ か っ た. ま た, synthetic の substrate 処 before Richard を variations Change さ せ て ダ イ ヤ モ ン ド synthetic line を っ た as a result, the nuclear density high の い 発 condition の party が synthetic し た ま ま の ダ イ ヤ モ ン ド membrane の transparent は optimal れ る こ と が わ か っ た. し か し, こ の ダ イ ヤ モ ン ド membrane の を struck surface grinding す る と, nucleation density outside の synthetic conditions が し い occasions は nucleation density に よ ら ず pervious to light sexual が し く According to the <s:1> results of infrared spectroscopy analysis, the transmittance of 10μmで <s:1> light is approximately 70%であった. Grinding は ダ イ ヤ モ ン ド strop stone に よ り mechanical line に っ た が, cut れ は 発 raw せ ず, mechanical strength の point で optical material と し て very use may で あ る こ と わ か っ た.

项目成果

平田 敦,吉川昌範: "断面組織からみたCVDダイヤモンドの光透過性" 第8回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集. 68-69 (1994)

Atsushi Hirata、Masanori Yoshikawa：“从截面结构角度观察 CVD 金刚石的透光率”第八届钻石研讨会摘要 68-69（1994 年）。

A.HIRATA and M.YOSHIKAWA: "Optical Properties of Diamond Plates Synthesized by Arc Discharge Plasma Jet Chemical Vapor Deposition" Advances in New Diamond Science and Technology. 379-382 (1994)

A.HIRATA 和 M.YOSHIKAWA：“电弧放电等离子射流化学气相沉积合成金刚石板的光学性质”新金刚石科学技术的进展。