急速熱酸化法による酸化チタン誘電体皮膜の形成と特性評価

快速热氧化法氧化钛介质薄膜的形成及特性评价

• 批准号: 06855081
• 负责人: 佐伯 功
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06855081/
• 关键词: チタン(チタニウム); 熱酸化; 誘電体; 皮膜; 光電流

1.チタンの熱酸化挙動の調査と皮膜のキャラクタリゼーション 1)緻密な熱酸化皮膜の生成条件:従来の報告のように昇温速度が小さく、高温で酸化した場合、皮膜は多孔質になりすいが、純酸素中、昇温速度を20K/s以上とし、1273K以下で200nm以内の厚さであれば緻密な酸化物が得られることがわかった。2)生成物の検討:アナターゼ型からルチル型への変態は従来報告されている温度とほぼ一致し、973-1073Kの間で起こった。誘電体として有望なルチル型の皮膜を得るためには1073-1273Kの温度範囲で成膜すればよい事がわかった。2.皮膜の電気的特性の測定 電流-電位挙動の検討:キセノンランプを光源として、暗電流と光電流の測定を行った。1で挙げた最適条件で作成した皮膜は標準水素電極参照で2V以下のアノード分極下ではほとんど暗電流は流れず、n型半導体の特性である整流作用を示した。いっぽう光照射下では標準水素電極参照で0V付近から電流を観測したが、値は小さく、また作成条件による差異はあまり見られなかった。3.表面処理による皮膜の電気的特性の改善 遷移金属元素の添加効果:上記の2までの内容が年度当初の研究計画であったが、あまり良い電気的特性は得られなかったので、年度途中より純チタンの熱酸化に加え、不純物として表面に遷移金属をドープした材料について、同様に熱酸化、電流-電位挙動の検討を行った。ニッケル、クロムなど、高温で2価や3価が安定な遷移金属では添加効果がなかったが、タングステン、モリブデンなど5価以上が安定な金属をドープした場合には、光電流が10倍以上増大するという結果が得られた。この原因については現在検討中である。

1. The formation conditions of acidified skin membrane are as follows: temperature, temperature Under 1273K, the thickness of the acid compound is less than 1273K, and the acid compound is thicker than 1273K. 2) the product temperature is consistent, 973-1073K, and the temperature is the same. It is expected that the film will be formed in the temperature range of 1073-1273K in the temperature range of 1073-1273K. two。 The characteristics of the film electrifier are measured. The current-electric potential dynamic voltage is measured. The light source is sensitive, and the dark current is used to measure the optical current. The main results are as follows: (1) the optimal conditions are made into the standard water level of the film. The electrodes refer to the temperature below 2V and the characteristics of the n-type hemispheric body show that the rectifying effect is significant. With reference to 0V, the standard water level electricity under normal light should be paid near the voltage of 0V, and the conditions should be adjusted to the minimum voltage. 3. The properties of the surface coating electronic devices have been improved, and the transfer metal elements have been added. In the last two years, the characteristics of the research projects and quality electrical machines have been improved, and the properties of the excellent electrical machines have been improved. Current-electric potential movement is related to the operation of the bank. The temperature of the metal, the temperature, the temperature The reason is that the reason is now in the middle of the day.