Spritzgießen von Mikrostrukturen

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In der Mikrosystemtechnik mangelt es derzeit an Prozeßtechniken zur Verarbeitung metallischer oder keramischer Werkstoffe in großen Stückzahlen. Ziel des beantragten Forschungsvorhabens ist daher die Entwicklung des Pulverspritzgießens für die Herstellung von Mikrokomponenten aus Metallen und Keramiken (Micro-MIM/CIM). Dies beinhaltet zum einen sowohl die Ermittlung optimierter Prozeßparameter als auch der prozeßtechnisch erreichbaren Leistungskenngrößen wie Maßhaltigkeit, Verzug und Oberflächenqualität. Zum anderen ist eine Erweiterung der verfügbaren Materialpalette durch die Verwendung weiterer metallischer und keramischer Füllstoffe vorgesehen. Ferner müssen die einzelnen Prozeßschritte Spritzgießen, Entbinderungs- und Sintervorgang für Bauteildimensionen der Mikrosystemtechnik optimiert werden, wozu u.a. eine wissenschaftliche Charakterisierung der verwendeten Materialien und deren physikalischer Eigenschaften wie z.B. Fließverhalten erforderlich ist.