Entwicklung einer schrumpfungsfreien, elektrisch leitfähigen und funkenerosiv bearbeitbaren Keramik für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

开发用于微系统技术应用的无收缩、导电、可电火花加工的陶瓷

• 批准号: 5165246
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Haußelt
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) (aufgelöst)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5165246?language=en
• 关键词: Entwicklung; einer; schrumpfungsfreien; elektrisch; leitf

Der Einsatz elektrisch leitfähiger Keramiken ermöglicht es, keramische Mikrobauteile direkt zu beheizen. Die Verwendung keramischer Bauteile in der Mikrotechnik wird jedoch generell unter anderem durch die bei allen pulvertechnologischen Fertigungsprozessen auftretende Sinterschrumpfung eingeschränkt. Da insbesondere im Bereich der Mikrosystemtechnik eine mechanische Nachbearbeitung aufgrund der kleinen Abmessungen äußerst schwierig bzw. gänzlich unmöglich ist, sollen Werkstoffe und Verfahren zur Herstellung elektrisch leitfähiger, schrumpfungsfreier keramischer Mikrobauteile entwickelt werden. Als Lösungsansatz bietet sich ein Reaktionssinterverfahren an, in dessen Verlauf eine Komponente im Bauteil eine volumenvergrößernde Reaktion eingeht und auf diese Weise die Sinterschrumpfung kompensiert werden kann. Diese volumenvergrößernde Reaktion kann gleichzeitig dazu genutzt werden, die gewünschte physikalische Eigenschaft, d.h. die elektrische Leitfähigkeit, gezielt in der gesinterten Keramik einzustellen. Parallel zur Materialentwicklung erfolgt die Entwicklung eines wirtschaftlichen Formgebungsverfahrens, dessen Ziel die elektrisch leitfähigen, schrumpfungsfreien Mikrobauteile sind.

Der Einelektrisch leitfähiger Keramiken ermöglicht es，keramische Mikrobauteile direkt zu beheizen.微粉碎技术中的微粉碎部件的生产将通过所有的粉碎工艺来提高烧结效率。在微系统技术的基础上建立了一个小型Abmessungen äußerst schwierig bzw的Nachbearbeitung机制。gänzlich unmöglich ist，sollen Werkstoffe und Verfahren zur Herstellung elektrisch leitfähiger，schrumpfungsfreier keramischer Mikrobauteile entwickelt韦尔登. Lösungsanktet bich sich ein Reaktionssinterverfahren an，in dessen Verlauf eine Komponente im Bauteil eine volumenvergrößernde Reaktion eingeht and auf diese Weise die Sinterschrumpfung kompensiert韦尔登cann.这种体积变化的反应可以使韦尔登，即物理学特征，d.h.电力系统的电力系统在电力系统中的应用。材料加工的并行化是一种简单的成形方法，它可以使电加工变得更简单，并使微加工变得更容易。