Mikroschleifen zur schnellen und flexiblen Strukturierung mikromechanischer Bauteile

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Ziel des Vorhabens ist es, das Mikroschleifen für die flexible Mikrozerspanung von sprödharten Werkstoffen der Mikrotechnik zu erforschen. Mikroschleifscheiben, Mikroschleifstife und Mikroholschleifstifte werden für die Fertigung von Nuten, Freiformen und Bohrungen erprobt und optimiert. Neben der Entwicklung des dafür notwendigen Maschinensystems und der für eine Fertigung mit Toleranzen von einigen Mikrometern erforderlichen Meßsysteme stehen insbesondere die Fertigung und die meßtechnische Erfassung von qualitativ hochwertigen mikromechanischen Strukturen und Bauteilen im Mittelpunkt der Untersuchungen. Als Werkstoffe werden monokristallines Silizium, Gläser für die Mikrotechnik, Keramik und Hartmetall eingesetzt. Für diese Werkstoffe sollen optimale Zerspanungsbedingungen zur Mikrostrukturierung entwickelt werden.