Mikroschleifen zur schnellen und flexiblen Strukturierung mikromechanischer Bauteile

微研磨可快速灵活地构造微机械部件

• 批准号: 5277244
• 负责人: Dr.-Ing. Hans-Werner Hoffmeister
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Werkzeugmaschinen und Fertigungstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5277244?language=en
• 关键词: Mikroschleifen; zur; schnellen; und; flexiblen

Ziel des Vorhabens ist es, das Mikroschleifen für die flexible Mikrozerspanung von sprödharten Werkstoffen der Mikrotechnik zu erforschen. Mikroschleifscheiben, Mikroschleifstife und Mikroholschleifstifte werden für die Fertigung von Nuten, Freiformen und Bohrungen erprobt und optimiert. Neben der Entwicklung des dafür notwendigen Maschinensystems und der für eine Fertigung mit Toleranzen von einigen Mikrometern erforderlichen Meßsysteme stehen insbesondere die Fertigung und die meßtechnische Erfassung von qualitativ hochwertigen mikromechanischen Strukturen und Bauteilen im Mittelpunkt der Untersuchungen. Als Werkstoffe werden monokristallines Silizium, Gläser für die Mikrotechnik, Keramik und Hartmetall eingesetzt. Für diese Werkstoffe sollen optimale Zerspanungsbedingungen zur Mikrostrukturierung entwickelt werden.

齐尔·德·沃哈本斯和米克罗施莱芬·Für是灵活的Mikrozerspanung von sprödharten Werkstoffen der MikroTechnik zu erforschen。Mikroschleifscheiben，Mikroschleifstifte和Mikroholschleifstifte是Fertigung von Nuten，Freiformen and Bohrungen erprot和乐观的。这是一个新的技术体系和新的技术体系，从技术上来说，这是一种技术上的进步。ALS Werkstoffe是Monokristallines Silizium，Gläser für die MikroTechnik，Keramik and Hartmetall eingesetzt。他说：“我的工作是最好的。”