Development of low temperature rf plasma model for material process
Development of low temperature rf plasma model for material process
材料加工低温射频等离子体模型的开发
批准号：
08044169
负责人：
MAKABE Toshiaki
金额：
$2.94万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for international Scientific Research
财政年份：
1996
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1996 至 1997
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英文摘要
(1). Development of electron transport in an radiofrequency field.Makabe and Petrovic ; Phys. Rev. E55 5901 (1997)(2). Development of electron transport in crossed electric and magnetic fields, and analysis in Ar.Ness and Makabe ; submitted to J. Phys. D.(3). Theoretical verification of our Relaxation ConTinuum (RCT) model by the Boltzmann equation.Robson and Makabe ; Annals of Physics 261, 74 (1997)(4). Development of electron/ion transport in phase space by using RCT/Boltzmann equationMakabe and Nakano ; J. Vac. Sci. Technol. A16, 294 (1998)(5). Experimental evidence of the additional heating mechanism of electrons in ICP by using 2D CT.Makabe and Petrovic ; Phys. Rev. E57, R43 (1998)(6). Etched particle transport from the substrate exposed to the plasma.Makabe and Nakano ; submitted(7). Others.
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K. Maeda and T. Makabe: "Study of RF electron searm transpor under density gradient by direct numerical procedure of the Boltzmann equation" Europhysics Conference Abstracts, ESCAMPIG 94. 18E. 151-152 (1996)
K. Maeda 和 T. Makabe：“通过玻尔兹曼方程的直接数值程序研究密度梯度下的射频电子接缝传输”欧洲物理学会议摘要，ESCAMPIG 94. 18E。
K. Maeda 和 T. Makabe：“通过玻尔兹曼方程的直接数值程序研究密度梯度下的射频电子接缝传输”欧洲物理学会议摘要，ESCAMPIG 94. 18E。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
A. Okigawa, N. Nakano, T. Makabe and Z. Petrovic: "Diagnostics of non-equilibrium inductively coupled plasamas in Ar" Proc. of 18th SPIG. 410-413 (1996)
A. Okikawa、N. Nakano、T. Makabe 和 Z. Petrovic：“Ar 中非平衡感应耦合等离子体的诊断”Proc。
A. Okikawa、N. Nakano、T. Makabe 和 Z. Petrovic：“Ar 中非平衡感应耦合等离子体的诊断”Proc。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
K. F. Ness and T. Makabe: "Electron transport in Ar in crossed Electric and Magnetic Fields when Ionization is significant" Phys. Rev. E. (to submit, May 16. 1997).
K. F. Ness 和 T. Makabe：“当电离作用显着时，Ar 中的电子传输在交叉电场和磁场中”。
K. F. Ness 和 T. Makabe：“当电离作用显着时，Ar 中的电子传输在交叉电场和磁场中”。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
J.Matsui et al: "Electron transport to a substrate in an rf capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1745 (1997)
J.Matsui 等人：“通过玻尔兹曼方程将电子传输到射频电容耦合等离子体”美国物理学会公报 1745 (1997)。
J.Matsui 等人：“通过玻尔兹曼方程将电子传输到射频电容耦合等离子体”美国物理学会公报 1745 (1997)。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
K.Iyanagi et al: "Two dimensional modeling of Ar RF ICP by RCT model"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1750 (1997)
K.Iyanagi 等人：“通过 RCT 模型进行 Ar RF ICP 的二维建模”美国物理学会公报 42・8（1997 年）。
K.Iyanagi 等人：“通过 RCT 模型进行 Ar RF ICP 的二维建模”美国物理学会公报 42・8（1997 年）。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 67 条
Development of micro plasma display pannel driven by radio frequency
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批准号：09555111
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$6.78万
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财政年份：1997
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负责人：MAKABE Toshiaki
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依托单位：
Development of micro-cell-plasma driven by radio frequency for PDP
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批准号：09450146
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$7.81万
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财政年份：1997
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负责人：MAKABE Toshiaki
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依托单位：
Hybrid-Optimal Control of Reactive Low frequency Discharge plasmas
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批准号：63550220
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$1.34万
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财政年份：1988
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负责人：MAKABE Toshiaki
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依托单位：