Entstehungsursachen für makro- und mesoporöses Silizium und Herstellung von subµm-Strukturen

粗孔和介孔硅的形成原因以及亚微米结构的产生

• 批准号: 5278106
• 负责人: Professor Dr. Helmut Föll
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Allgemeine Materialwissenschaft
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5278106?language=en
• 关键词: Entstehungsursachen; makro; und; mesopor; ses

Die Untersuchungen im Rahmen dieses Projektes dienen der Weiterentwicklung des sogenannten 'Current-Burst-Model' zur Beschreibung der Elektrochemie von Halbleitern im allgemeinen und von Silizium im besonderen. Grundgedanke des Modells ist, daß die zur anodischen Siliziumauflösung führenden elektrochemischen Reaktionen stochastisch ablaufen. Die dabei erfolgenden Korrelationen führen zu Oszillationen in der Zeit und im Raum (=Poren), die wesentlichen Wechselwirkungen zwischen den Einzelreaktionen werden durch die Oxidation (insbesondere auch bei organischen Elektrolyten) und die unterschiedlichen Passivierungseigenschaften der Elektrolyte vermittelt; letztere sollen experimentell nachgewiesen werden. Die stochastischen Eigenschaften des Systems zeigen sich sehr eindrucksvoll an 'chaotischen Resonanzen'. Eine von außen dem System aufgeprägte Störung kann die Porenmorphologie im Resonanzfall signifikant ändern - aus Poren mit einer starken Tendenz zur Seitenporenbildung werden im Resonanzfall stark geordnete Porenstrukturen ohne Seitenporenbildung. Im Rahmen des Projektes sollen diese dynamischen Eigenschaften der elektrochemischen Systeme gezielt untersucht werden, insbesondere auch bei neuen (im Vorgängerprojekt entdeckten) Porensorten, da hier die stochastische Natur der Prozesse am deutlichsten in Erscheinung tritt.

该研究项目是一个基于“电流突波模型”的微结构模型，用于研究一般的Halbleitern和一般的Silizium的电化学性质。根据模型，可以确定用于电化学反应的阳极氧化硅。在时间和空间（=孔隙）中进行的大量的相互关系，通过氧化（也包括有机电解质）和电解质的非直接钝化，使我们的选择性反应转化为韦尔登，并通过实验告诉我们韦尔登。系统的随机特性可以看作是一种“混沌共振”。一个由增强的体系构成的孔隙结构在共振中具有重要的意义--它的孔隙具有一个明显的共振孔隙培养韦尔登，这是一个明显的共振孔隙结构。在项目实施过程中，电化学系统的动力学特性得到了韦尔登，这也是新的（在项目实施过程中）渗透的结果，它体现了过程在德国的随机性。