CT法による非軸対称プラズマジェット診断法の開発とそのプロセス制御への応用

CT法非轴对称等离子射流诊断方法的开发及其在过程控制中的应用

• 批准号: 08650872
• 负责人: 崎山 智司
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: Yamaguchi University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650872/
• 关键词: コンピュータトモグラフィー; プラズマジェット; 熱プラズマ; プラズマプロセス; 熱伝達量

プロセス中のプラズマジェットは処理材料を注入されるので軸対称を失う。そのため、これまでのアーベル変換を用いた診断法は使用することが出来ず、これに代わる新たな手法が必要となる。本研究では非軸対称プラズマジェットの診断法として、コンピュータトモグラフィー法の適用可能性を、数値シミュレーション、カロリメトリックプローブを用いた熱伝達量測定及びCCDカメラによる温度測定によって検討した。結果を以下にまとめる。1.、数値シミュレーションにより、代数的再構成法による再構成画像の精度は投影像数とメッシュ数に依存し、プロセス中のジェットに対しては、メッシュ数40x40、投影像数4で約6%程度の精度が得られることが示された。この値は、実用上十分である。2.カロリメトリックプローブを用いた熱伝達量測定の結果より、フィードガスを注入しない場合のプラズマジェットの熱伝達量分布はほぼ軸対称であるが、フィードガスを注入した場合は非軸対称となることが分かった。3.CCDカメラと光学干渉フィルタを用いた温度測定の結果から、フィードガス流量を増加するに従って、ジェットの温度分布の非軸対称性が強くなることが確認された。以上の結果から、コンピュータトモグラフィー法はプロセス進行中の非軸対称プラズマジェットの診断法として有効である。

The material is injected into the shaft. A new diagnostic method is necessary for the diagnosis of diseases. This study discusses the feasibility, numerical value and application of the non-axis-dependent diagnostic method, thermal measurement and CCD temperature measurement. The result is: 1.、The accuracy of the reconstruction image depends on the number of projection images and the number of projection images. The accuracy of the reconstruction image is about 6% This is the first time I've ever seen such a thing. 2. The heat transfer amount distribution in the case of injection is different from that in the case of non-axial injection. 3. The results of temperature measurement by CCD and optical interference are confirmed to be strong in the asymmetry of temperature distribution due to the increase of flow rate. The above results show that the diagnosis method of non-axial symmetry is in progress.

项目成果

S.Sakiyama: "Diagnostics of the Plasma Jet using Computer Tomography" Proc.Iuter.Conf.Plasma Physics. (in press). (1997)

S.Sakiyama：“使用计算机断层扫描对等离子射流进行诊断”Proc.Iuter.Conf.Plasma Chemistry。