Verarbeitung, in-situ Pyrolyse und Haftmechanismen von oxicarbidischen und carbonitridischen Keramikschichten auf Basis des Polymer-Sprühens
基于聚合物喷涂的碳化物和碳氮化物陶瓷层的加工、原位热解和粘附机制
基本信息
- 批准号:5283690
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Priority Programmes
- 财政年份:2000
- 资助国家:德国
- 起止时间:1999-12-31 至 2003-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Dieses Vorhaben nutzt die vorhandene Anlage zum Versprühen von polymeren Vorstufen zur Herstellung keramischer Schichten. Hinsichtlich des SiOC-Systems soll als verfahrenstechnische Innovation eine in-situ Pyrolyse mit einem Spiegelofen aufgebaut und integriert werden. Weiterhin wird der Haftmechanismus von einem Lösungstropfen bis zu einer Festkörperverbindung auf unterschiedlichen Substraten untersucht werden.Bisher lassen sich Nichtoxid-Vorstufen (SiCN SiBCN) aufgrund ihrer starken Rekativität nur unter permanenter, geschlossener Schutzgastechnik verarbeiten. Das macht die Herstellungstechnik sehr langsam, umständlich und teuer. Für eine technische Fertigung muss ein Weg der Verarbeitung gefunden werden, der hne eine Glovebox oder Schlenckrohre auskommt. Diesbezüglich hat sich im letzten Jahr ein Weg eröffnet, der auf neuen prozesstoleranten Vorstufen im SiCN-System basiert. Als verfahrenstechnische Massnahme ist eine lokale Gasführung in der Sprühapparatur aufzubauen, die einen maximalen Schutz der Vorstufe gewährleistet. Um reaktive Vorstufen vor Sauerstoff zu schützen, sollen Hüllpolymere eingesetzt werden, die reaktive Zentren in der Vorstufe absättigen. Durch Getteraktionen während der Pyrolyse soll der Sauerstoff in einer Konkurrenzreaktion abgefangen werden. Die ständige Kontrolle des Sauerstoffgehaltes ist ein Kernthema des Antrags. Da sehr viele Prozessparameter auf die Eigenschaften der Schicht Einfluss nehmen, soll Interaktion durch statistische Auswertemethoden überprüft werden.Gelingt es, auch nichtoxidische Vorstufen kostengünstig und mit vertrebarem Sauerstoffgehalt zu verarbeiten und auf unterschiedlichen Substraten zur Haftung zu bringen, so würde das völlig neuartige Bauteilformen ermöglichen. So könnten Lagerschalen oder Wellen, Hartstoffschichten oder Bauteilkapselungen durch eine Beschichtung mit Vor-Ort-Pyrolyse erzeugt werden. Die Formgebung geschieht im wesentlichen schon im Substrat, also in diesem Beispiel im Metall, die keramische Beschichtung formt dessen Oberfläche lediglich ab.
这些材料可以从聚合物材料中直接提取。SiOC系统的新技术创新是一种原位热解技术,它采用了一种可组装和集成的韦尔登。此外,还需要一个Lösungstropfen的Haftmechanismus bis zu einer Festkörperverbindung auf untermedlichen Substraten untersucht韦尔登.Bisher lassen sich Nichtoxid-Vorstufen(SiCN SiBCN)aufgrund ihrer starken Rekativität努尔unter permanenter,geschlossener Schutzgastechnik verarbeiten.这使得加热技术变得非常简单,非常稳定和稳定。Für eine technische Fertigung muss ein Weg der Verarbeitung gefunden韦尔登,der hne eine Glovebox or der Schlenckrohre auskommt.这是近年来在SiCN系统基础上的一个新项目。在喷水装置中,所有的增压技术都是一种局部的气体增压,是一种最大的进气系统。在Sauerstoff的反应性前体中,只有一个韦尔登,反应性前体中的前体被吸收。在一个韦尔登中,将Sauerstoff的裂解物分解成一个小块。Sauerstoffgehaltes的标准控制是Antrags的核心。由于有许多过程参数对Schicht Einfluss nehmen的特征值有影响,因此通过统计学的Auswertemoden überprüft韦尔登进行交互。Gelingt es,auch nichelische Vorstufen kostengünstig und mit vertrebarem Sauerstoffgehalt zu verarbeiten und auf untershedlichen Substraten zur Haftung zu bringen,so würde das völlig neuartige Bauteilformen ermöglichen.因此,通过预热解韦尔登进行热处理,可以得到Lagerschalen或Wellen、Hartstoffschichten或Bauteilkapselungen。模具在基材上的形状,以及在金属上的Beispiel中的形状,都是由Oberfläche lediglich ab形成的。
项目成果
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