权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

走査型水素検出顕微鏡による水素の吸脱着機構の解明

使用扫描氢检测显微镜阐明氢吸附/解吸机制

基本信息

批准号：
10148227
负责人：
吉村雅満
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Toyota Technological Institute
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10148227/
关键词：
水素水素吸蔵合金顕微鏡電子励起脱離 TOF-ESD 表面

项目摘要

最近、金属や半導体の表面に存在するプロチウムの挙動を知るためにプロチウムの可視化が要求されている。われわれは、電子励起イオン脱離法を応用して水素やプロチウムを高感度に検出できる装置を開発し、これを高分解能にすることで走査型水素検出顕微鏡として機能するようにして、固体表面上のプロチウムの存在を2次元分布として描き出すことに成功した。現在の面分解能は1ミクロンであるが、水素吸蔵合金などのグレインサイズでのプロチウムの挙動を観察するにはもう1桁の分解能向上が望まれる。本年度は本装置の性能向上に傾注して高分解能化、高感度化を目指し以下に示す二、三の応用を試みた。1) ビーム径0.3ミクロンで固体表面上のプロチウムを連続ビームで脱離させ、その部分が正確に面分析されるかどうかで、分解能チェックができることを利用してシリコン表面に2原子層のプロチウムを吸着させ上記の実験を行い性能を立証した。シリコン酸化膜で成形されたline and spaceを用いて分解能チェックと試料面の凹凸の影響を検討し、凹凸の激しい試料では試料バイアスを低くして影響を小さくできることを見いだした。2) 電子銃の性能向上のために電界放出型の電子銃のみでなくビーム電流を確保できるようにLaB6フィラメントを用いた電子銃の開発に取り組んだ。3) 水素化物を含む鋼の表面のプロチウム濃度分布分析で、局在するプロチウムの検出に成功した。このことは材料学的に大きな意味を持つので系統的な研究が必要である。4) 走査トンネル顕微鏡によるシリコン上に成長するニッケル薄膜結晶のナノ構造の観察。2nmのNi原子蒸着後アニーリング温度を徐々に高くしてシリサイド形成過程を原子レベルの分解能で観察し、シリコン表面の未結合手を予めプロチウムで終端化したものとしていないものとの違いを観察した。プロチウム終端化面には平坦で一様なシリサイド結晶が成長した。

Recently, the existence of metal and semiconductor surfaces requires the visualization of their motion. For example, the electron excitation method is used to detect the presence of water elements on the surface of a solid in a two-dimensional distribution, and the detection device is developed with high sensitivity and high resolution. Now the surface decomposition energy can be changed to 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 1 This year, the performance of this device is focused on high resolution and high sensitivity. The following are the results of the second and third tests. 1)The surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m, and the surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m. The surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m. The surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m. The surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m. The surface of the solid has a diameter of 0.3 μ m. The influence of the roughness of the sample surface on the formation of the acidified film is discussed. 2)The performance of electron gun is upward, and the current of electron gun is guaranteed. 3)The concentration distribution of hydrate on the surface of steel was analyzed, and the detection of hydrate was successful. It is necessary to carry out systematic research on materials science. 4)Investigation of the structure of thin film crystals grown on micromirrors 2 nm Ni atom evaporation after the temperature change, high temperature, high temperature The terminal surface is flat, and the crystal is grown.