グラファイト様B/C/N半導体電極の光電気化学
类石墨B/C/N半导体电极的光电化学
基本信息
- 批准号:11124211
- 负责人:
- 金额:$ 1.22万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- 财政年份:1999
- 资助国家:日本
- 起止时间:1999 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
B/C/N化合物の作製には、プラズマ化学気相成長(PCVD)装置を使用した。合成温度を比較的抑えることで、グラッシーカーボン様構造を得ることができると予想された。B/C/N化合物を合成する基板としては、Si基板を主として用いた。作製したBCN化合物の評価は、構造評価ならびに組成分析を併用した。作製時に各各の元素の組成比を変え、作製した薄膜の組成比と比較し、次回の反応条件にフィードバックした。導電性評価は、4探針プローブを用いて測定し、電気化学特性は、主として電位窓の大きさ、酸化還元種に対するレスポンスをサイクリックボルタンメトリー法により評価した。成膜条件を最適化するために、多くのパラメータを変えて成膜を行ったが、ステージ高さと溶媒タンクバブリング用のガス流量・組成が最も影響が高かった。液相ボロン濃度20000ppmで作製した膜ではアモルファスsp^3が増大しており、ボロン導入量が増大した。得られたB,N-ドープダイヤモンド電極のNa_2SO_4電解質溶液中で得られたサイクリックボルタモグラム(CV)では、どちらも4Vに達する非常に広い電位窓を示した。ボロンのみをドープしたダイヤモンド電極については、これまでに報告されている最大の値でも3.5V程度であり、ダイヤモンド結晶のクオリティが低いほどその電位窓が狭くなるという認識が一般化している。この事実を加味すれば、B,N-同時ドープダイヤモンド電極は非常にクオリティの高い結晶から構成されていると考えざるを得ない。現状としては、ボロンを十分にドープできたB,N-ドープダイヤモンド電極は電位窓・電子移動特性ともに優れており、これまでにない優れた電極材料であることが明らかとなった。
B/C/N compounds are manufactured by chemical vapor deposition (PCVD). The synthesis temperature is compared with the structure. B/C/N compounds are synthesized on Si substrates. Preparation of BCN compounds, structural evaluation and composition analysis The composition ratio of each element in the production process is different, the composition ratio of the film in the production process is different, and the reaction conditions are different. Conductivity evaluation, 4 probe detection, electrochemistry, main potential detection, acidification, reduction of species detection and evaluation The film formation conditions are optimized, and the flow rate and composition of the solvent are optimized. When the concentration of liquid phase is 20000ppm, the amount of liquid phase introduced increases. A very high potential was obtained in Na_2SO_4 electrolyte solution of B, N-terminal electrode. The maximum value of the crystal is about 3.5V. The maximum value of the crystal is about 3.5V. The maximum value of the crystal is about 3.5V. This is the case with B, N-simultaneous electrode formation. The current situation is that the electrode potential is very high, and the electron mobility is very high.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
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