レーザー光による表面原子操作
レーザー光による表面原子操作
批准号:
11222202
负责人:
金崎 順一
金额:
$38.4万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
财政年份:
1999
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1999 至 2001
中文摘要
これまでSi(111)-(7x7)表面におけるレーザー誘起構造変化の研究により、光励起により生成された表面正孔の非線形局在により電子的結合切断が誘起されることが明らかにされている。本年度は、(1)表面の正孔の非線形局在が、他の半導体表面における電子的な結合切断にも一般的に成立する概念であるのかを明らかにする。(2)電子的結合切断による新表面構造相創製のための最適化な励起条件を探索する、という2つの目的で、Si(001)-(2x1)表面において発生するレーザー誘起構造変化及び脱離現象について研究を行った。弱強度レーザー照射前後の表面におけるトンネル顕微鏡観察により、励起によって、最外層のダイマーが除去され、空格子点が生成されることが確認され、Si(001)表面においても、電子的な局所的結合切断が発生することがわかった。さらに、繰り返し励起することにより、大部分の表面ダイマーが除去され、既に報告されているような新構造相が出現した。このことより、新構造相創製に電子的結合切断が直接関与していることがわかった。次に、種々の励起条件において、空格子点生成効率及び結合切断に伴う脱離Si原子収量を測定し、電子的結合切断効率が以下の特徴を有することを明らかにした。1)電子的結合切断効率は励起強度に対して強い非線形効果を示す2)脱離効率は強い光子エネルギー依存性を示す。効率は、2.3eV近傍でピークを形成した後、2.6eV近傍より徐々に増大する。実験により得られた結果は、光励起によりバックボンド表面バンドに生成された正孔の多重局在というモデルによりうまく説明できることが判明した。以上の研究により、表面正孔の非線形局在が、半導体表面における電子的結合切断を理解するための重要かつ一般的な概念であることがわかった。さらに、電子的結合切断効率をあげて、新表面構造相を効率的に創製するためには、表面バックボンドバンドに効率的に正孔を発生させるように励起条件を最適化する事が有効であることがわかった。
英文摘要
これまでSi(111)-(7x7)表面におけるレーザー誘起構造変化の研究により、光励起により生成された表面正孔の非線形局在により電子的結合切断が誘起されることが明らかにされている。本年度は、(1)表面の正孔の非線形局在が、他の半導体表面における電子的な結合切断にも一般的に成立する概念であるのかを明らかにする。(2)電子的結合切断による新表面構造相創製のための最適化な励起条件を探索する、という2つの目的で、Si(001)-(2x1)表面において発生するレーザー誘起構造変化及び脱離現象について研究を行った。弱強度レーザー照射前後の表面におけるトンネル顕微鏡観察により、励起によって、最外層のダイマーが除去され、空格子点が生成されることが確認され、Si(001)表面においても、電子的な局所的結合切断が発生することがわかった。さらに、繰り返し励起することにより、大部分の表面ダイマーが除去され、既に報告されているような新構造相が出現した。このことより、新構造相創製に電子的結合切断が直接関与していることがわかった。次に、種々の励起条件において、空格子点生成効率及び結合切断に伴う脱離Si原子収量を測定し、電子的結合切断効率が以下の特徴を有することを明らかにした。1)電子的結合切断効率は励起強度に対して強い非線形効果を示す2)脱離効率は強い光子エネルギー依存性を示す。効率は、2.3eV近傍でピークを形成した後、2.6eV近傍より徐々に増大する。実験により得られた結果は、光励起によりバックボンド表面バンドに生成された正孔の多重局在というモデルによりうまく説明できることが判明した。以上の研究により、表面正孔の非線形局在が、半導体表面における電子的結合切断を理解するための重要かつ一般的な概念であることがわかった。さらに、電子的結合切断効率をあげて、新表面構造相を効率的に創製するためには、表面バックボンドバンドに効率的に正孔を発生させるように励起条件を最適化する事が有効であることがわかった。
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K. Tanimura: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing TV, Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers(SPLE). 3618. 26-36 (1999)
K. Tanimura:“激光诱导电子键断裂和半导体表面结构变化”激光在微电子和光电制造电视中的应用,光电仪器工程师协会 (SPLE)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
K.Tanimura: "Laser-induced electronic instability on semiconductor surfaces of Si(111)-(7x7)and InP(110)-(1x1)"Proc.of the 25th Int.Conf.on the Physics of Semiconductors. 87-87 (2001)
K.Tanimura:“Si(111)-(7x7) 和 InP(110)-(1x1) 半导体表面上的激光诱导电子不稳定性”第 25 届半导体物理国际会议论文集。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
K.Tanimura: "Laser-induced electronic bond breaking and structural changes on semiconductor surfaces"SPIE. 3618. 26-36 (1999)
K.Tanimura:“激光诱导的电子键断裂和半导体表面的结构变化”SPIE。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
J.Kanasaki: "Laser-induced electronic desorption from InP(110)surfaces studied by femtosecond nonresonant ionization spectroscopy"Physical Review B. 64.3. 35414-35423 (2001)
J.Kanasaki:“通过飞秒非共振电离光谱研究 InP(110) 表面的激光诱导电子解吸”物理评论 B. 64.3。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). 3618. 26-36 (1999)
K.Tanimura:“激光诱导的电子键断裂和半导体表面的结构变化”光电仪器工程师协会 (SPIE)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
共 14 条
半導体表面における光化学エッチングの初期過程の研究
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批准号:05750025
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1993
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负责人:金崎 順一
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依托单位:
レーザー誘起原子放出によるシリコン表面欠陥の制御
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批准号:04750010
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1992
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负责人:金崎 順一
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依托单位:
海外基金