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Harmless Disposal System of NF3 in the Manufacturing Process of Semiconductor Using Chemical Reaction

Harmless Disposal System of NF3 in the Manufacturing Process of Semiconductor Using Chemical Reaction
半导体制造过程中NF3化学反应无害化处理系统
批准号：
11650788
负责人：
YAMAMOTO Hideki
金额：
$1.73万
依托单位：
Kansai University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
1999
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1999 至 2000
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11650788/
关键词：
environmental protectionglobal warming gasesharmless disposalsemiconductoretching gasfluoride gasnitrogen fluoridemetal chloride特殊ガス無害化半導体製造三フッ化窒素塩化カルシウム化学反応フッ化カルシウム温室効果

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英文摘要
The chemical reactions of fluoride gases with metal chloride or metal oxide are utilized as an effective treatment for harmless disposal. These chemical reactions can be adopted in the temperature range of 80℃〜400℃, which is lower than that in the combustion treatment (800℃). Reaction products are metal fluoride or metal chloride which are a harmless and a valuable chemical material as one of new resources. This paper concerns with a new harmless disposal treatment of toxic global warming gases.
期刊论文(9)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
J.Shibata and H.Yamamoto: "Harmless Disposal of Special Material Gases."Chemical Engineering. Vol.45. 35-41 (2000)
J.Shibata 和 H.Yamamoto：“特殊材料气体的无害处理”。化学工程。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Hideki Yamamoto and Junji Shibata: "Disposal of Waste Fluoride and Chloride Gases in the Manufacturing Process of Semiconductors"Proceedings of Second International Conference on Material Processing for Pronerties (PMP2000). Vol.1. 685-688 (2000)
Hideki Yamamoto 和 Junji Shibata：“半导体制造过程中废弃氟化物和氯化物气体的处理”第二届国际材料加工会议论文集 (PMP2000)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
J.Shibata and H.Yamamoto: "Harmless Disposal Technology for Special Material Gases using Semiconductor Manufacturing Process"Eco-Industry. Vol.3. 26-33 (2000)
J.Shibata和H.Yamamoto：“利用半导体制造工艺的特殊材料气体无害化处理技术”生态产业。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
芝田隼次,山本秀樹: "特殊材料ガスの無害化処理"ケミカルエンジニアリング. 45巻. 35-41 (2000)
Junji Shibata，Hideki Yamamoto：“特殊材料气体的无毒处理”化学工程卷 45. 35-41 (2000)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 7 条
    The research on the legal restrictions against Japan early modern literature
    • 批准号：
      19K00321
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.66万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hideki
    • 依托单位：
      Okayama University
    Areal-Typological Study of Comparative Constructions of the World's Languages Based on Geographical Information System
    • 批准号：
      16K02653
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.16万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hideki
    • 依托单位：
      Hirosaki University
    The research for the unknown publishing ordinances and their relations with the literature in Edo period
    • 批准号：
      15K02248
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.66万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hideki
    • 依托单位：
      Okayama University
    The History of the premodern publishment in Japan
    • 批准号：
      23520225
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.58万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hideki
    • 依托单位：
      Okayama University