Entwicklung eines Interferometers, das unter simultaner Verwendung von drei Wellenlängen in der Lage ist, diffraktive optische Elemente mit den Mitteln der phase shifting Interferometrie zu vermessen

研究结果表明，色散与干扰素之间的相互作用是一种相互作用，与色散的相互作用有关，与色散的相互作用有关，与色散的相互作用有关Wellenlängen，与色散的相互作用有关，与色散的相互作用有关。来自分散abgeglichen黑ßt dabei daßder optische Gangunterschied傅阿莱drei Wellenlangen在窝Interferometerarmen gleich盛μß。参考文献1 .干涉仪的研究进展Leistungsfähigkeit . de Versuchsaufbaugeräts .光学干涉仪与光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<e:2>与光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<e:2>与光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<e:2>与光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<s:2>光学干涉仪<e:2>与光学干涉仪算法。

Das Vorhaben hat das Ziel, ein bezüglich Dispersion abgeglichenes Interferenzmikroskop zu konstruieren, das für den simultanen Gebrauch dreier Wellenlängen, die weit auseinander liegen und nicht rationale Vielfache voneinander sind, geeignet ist. Aus Dispersion abgeglichen heißt dabei, daß der optische Gangunterschied fü alle drei Wellenlängen in den Interferometerarmen gleich sein muß. Im Anschluß an den Bau des Interferometers soll die Leistungsfähigkeit des Versuchsaufbaugeräts im Vergleich zu einem vorhandenen Weißlicht-Interferometer und taktilen Verfahren überprüft und vorhandene Algorithmen zur Auswertung der Interferenzbilder weiter entwickelt werden.