Entwicklung eines Interferometers, das unter simultaner Verwendung von drei Wellenlängen in der Lage ist, diffraktive optische Elemente mit den Mitteln der phase shifting Interferometrie zu vermessen

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Das Vorhaben hat das Ziel, ein bezüglich Dispersion abgeglichenes Interferenzmikroskop zu konstruieren, das für den simultanen Gebrauch dreier Wellenlängen, die weit auseinander liegen und nicht rationale Vielfache voneinander sind, geeignet ist. Aus Dispersion abgeglichen heißt dabei, daß der optische Gangunterschied fü alle drei Wellenlängen in den Interferometerarmen gleich sein muß. Im Anschluß an den Bau des Interferometers soll die Leistungsfähigkeit des Versuchsaufbaugeräts im Vergleich zu einem vorhandenen Weißlicht-Interferometer und taktilen Verfahren überprüft und vorhandene Algorithmen zur Auswertung der Interferenzbilder weiter entwickelt werden.