Entwicklung eines Interferometers, das unter simultaner Verwendung von drei Wellenlängen in der Lage ist, diffraktive optische Elemente mit den Mitteln der phase shifting Interferometrie zu vermessen

开发出能够同时使用三个波长使用相移干涉测量衍射光学元件的干涉仪

• 批准号: 5301006
• 负责人: Professor Dr. Johannes Schwider
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5301006?language=en
• 关键词: Entwicklung; eines; Interferometers; das; unter

Das Vorhaben hat das Ziel, ein bezüglich Dispersion abgeglichenes Interferenzmikroskop zu konstruieren, das für den simultanen Gebrauch dreier Wellenlängen, die weit auseinander liegen und nicht rationale Vielfache voneinander sind, geeignet ist. Aus Dispersion abgeglichen heißt dabei, daß der optische Gangunterschied fü alle drei Wellenlängen in den Interferometerarmen gleich sein muß. Im Anschluß an den Bau des Interferometers soll die Leistungsfähigkeit des Versuchsaufbaugeräts im Vergleich zu einem vorhandenen Weißlicht-Interferometer und taktilen Verfahren überprüft und vorhandene Algorithmen zur Auswertung der Interferenzbilder weiter entwickelt werden.

Das Vorhaben hat das Ziel，ein bezüglich Dispersion abgeglichenes Interferenzmikroskop zu construieren，das für den Droschen Gebrauch dreier Wellenlängen，die weit auseinander liegen und nicht rationale Vielfache voneinander sind，geeignet ist.由于色散很大，光学系统的测量结果在干涉仪中几乎可以达到三个健康的水平。在干涉仪的安装中，为了使干涉仪的校准精度提高，需要一台高精度的干涉仪，并需要进行校准和校准，以便在韦尔登的作用下进行干涉。