Investigations to improve the measurement accuracy for testing cylindrical surfaces with the help of computer generated holograms by implementing an absolute test

他说：“我不知道你的工作是什么，我的工作是什么？”在DEM von n s entwickelten Verfahren dienen en Computer Generierte全息图以及Vergleichsnorman für die zu tetenden Flächen des Prüflings。[.]限制了绝对值在形式上的重要性，不适用于计算机通用的全息照相。在流水线Inzdenz Tritt eine Wellenrontinversionder Prüflingswell Am Meridian Desselben auf中进行干涉测量时，Prüfang Mit Hilfe von CGH。我们将以不为零的形式引用这些信息，因此，我们将不再需要预算，也不需要更多的信息来进行对称的干涉。在实践的极端中，Letzteres是不可能的。这是一项系统化的工作，在世界上最重要的领域之一，也就是在世界范围内。在极端的情况下，我们的主人是最好的，他们的工作是最好的。Schlie？lich is jegliche Messung fehlerbehaftet，所以zum Beispiel eine Master-Kalibrierung MIT einer KooratenMessmaschine.他说：“这是一件非常重要的事情。”本文系统地介绍了干涉仪在非地衣定位和定向中的应用。这三个字的意思是：在这一点上，所有的人都是这样的。这是一种绝对化的方法，不同于传统的方法，也不同于传统的方法。这是一种干涉测量方法，它使罗恩·奥伯弗莱琴和他的计算机系统变得空洞，并使之成为最好的补偿方法。Au？Erdem is die komplette Oberfläche der Prüflinger auf einmal Zugänglich.我的问题是，我不知道该怎么做才能解决这一问题，因为它是一种几何。这是一种非常好的生活方式。

Interferometrie mit streifender Inzidenz ist ein Messverfahren, das die makroskopische Gestaltprüfung von technischen, d. h. optisch rauen Oberflächen mit einer Genauigkeit im sub-µm-Bereich erlaubt. In dem von uns entwickelten Verfahren dienen computergenerierte Hologramme als Vergleichsnormale für die zu testenden Flächen des Prüflings. [...] Limitierend für die absolute Genauigkeit bei der Formmessung ist die Qualität der verwendeten optischen Elemente, insbesondere die der computergenerierten Hologramme. Bedingt durch die interferometrische Prüfung mit Hilfe von CGH in streifender Inzidenz tritt eine Wellenfrontinversion der Prüflingswelle am Meridian desselben auf. Demgegenüber wird die Referenzwelle in Form der ungebeugten nullten Ordnung nicht invertiert, so dass Wellenfrontdeformationen des Kollimators zu dem Fehlerbudget beitragen, sofern der Fehler nicht gerade die Inversionssymmetrie der interferometrischen Anordnung hat. Letzteres ist aber in der Praxis extrem unwahrscheinlich. Die systematischen Wellenfrontfehler lassen sich natürlich durch aufwendige Kalibrierung, unter Verwendung hochgenauer Masterzylinder korrigieren. Die Realisierung eines solchen Masters ist aber extrem schwierig, da auch dieser erst einmal vorab geprüft werden müsste. Schließlich ist jegliche Messung fehlerbehaftet, so auch zum Beispiel eine Master-Kalibrierung mit einer Koordinatenmessmaschine. Demgegenüber kommen Absolutverfahren ohne solche präzisen Master-Messobjekte aus. Die systematischen Fehler werden durch mehrere Messungen des Prüflings in unterschiedlichen Positionen und Orientierungen im Interferometer beseitigt. Absolutprüfverfahren sind bereits für ebene, kugelförmige und zylindrische Flächen unter senkrechtem Einfall bekannt. Hier soll eine Methode für den Absoluttest von zylindrischen Oberflächen unter streifender Inzidenz entwickelt werden, wobei in Analogie zu den vorher genannten Regelflächen ebenfalls Mehrstellungstests verwendet werden sollen. Die streifende Inzidenz ermöglicht auch die interferometrische Messung von rauen Oberflächen und die benötigten CGHs für den Nulltest sind einfacher herzustellen als die Kompensationsoptiken für senkrechte Inzidenz. Außerdem ist die komplette Oberfläche der Prüflinge auf einmal zugänglich. Die Problematik, im Vergleich mit dem Test von Ebenen oder Kugeln, liegt in der komplexeren Geometrie des streifenden Inzidenz-Aufbaus. Damit verbunden sind aufwendigere Bewegungen beim Durchführen des Mehrstellungstests.