Investigations to improve the measurement accuracy for testing cylindrical surfaces with the help of computer generated holograms by implementing an absolute test

研究通过实施绝对测试，借助计算机生成的全息图来提高测试圆柱面的测量精度

• 批准号: 5350354
• 负责人: Professor Dr. Johannes Schwider
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5350354?language=en
• 关键词: Investigations; improve; measurement; accuracy; testing

Interferometrie mit streifender Inzidenz ist ein Messverfahren, das die makroskopische Gestaltprüfung von technischen, d. h. optisch rauen Oberflächen mit einer Genauigkeit im sub-µm-Bereich erlaubt. In dem von uns entwickelten Verfahren dienen computergenerierte Hologramme als Vergleichsnormale für die zu testenden Flächen des Prüflings. [...] Limitierend für die absolute Genauigkeit bei der Formmessung ist die Qualität der verwendeten optischen Elemente, insbesondere die der computergenerierten Hologramme. Bedingt durch die interferometrische Prüfung mit Hilfe von CGH in streifender Inzidenz tritt eine Wellenfrontinversion der Prüflingswelle am Meridian desselben auf. Demgegenüber wird die Referenzwelle in Form der ungebeugten nullten Ordnung nicht invertiert, so dass Wellenfrontdeformationen des Kollimators zu dem Fehlerbudget beitragen, sofern der Fehler nicht gerade die Inversionssymmetrie der interferometrischen Anordnung hat. Letzteres ist aber in der Praxis extrem unwahrscheinlich. Die systematischen Wellenfrontfehler lassen sich natürlich durch aufwendige Kalibrierung, unter Verwendung hochgenauer Masterzylinder korrigieren. Die Realisierung eines solchen Masters ist aber extrem schwierig, da auch dieser erst einmal vorab geprüft werden müsste. Schließlich ist jegliche Messung fehlerbehaftet, so auch zum Beispiel eine Master-Kalibrierung mit einer Koordinatenmessmaschine. Demgegenüber kommen Absolutverfahren ohne solche präzisen Master-Messobjekte aus. Die systematischen Fehler werden durch mehrere Messungen des Prüflings in unterschiedlichen Positionen und Orientierungen im Interferometer beseitigt. Absolutprüfverfahren sind bereits für ebene, kugelförmige und zylindrische Flächen unter senkrechtem Einfall bekannt. Hier soll eine Methode für den Absoluttest von zylindrischen Oberflächen unter streifender Inzidenz entwickelt werden, wobei in Analogie zu den vorher genannten Regelflächen ebenfalls Mehrstellungstests verwendet werden sollen. Die streifende Inzidenz ermöglicht auch die interferometrische Messung von rauen Oberflächen und die benötigten CGHs für den Nulltest sind einfacher herzustellen als die Kompensationsoptiken für senkrechte Inzidenz. Außerdem ist die komplette Oberfläche der Prüflinge auf einmal zugänglich. Die Problematik, im Vergleich mit dem Test von Ebenen oder Kugeln, liegt in der komplexeren Geometrie des streifenden Inzidenz-Aufbaus. Damit verbunden sind aufwendigere Bewegungen beim Durchführen des Mehrstellungstests.

干涉仪与streifender Inzuberz是一个消息，该makroskopische Gestaltprüfung von technischen，d。H. optisch rauen Oberflächen mit einer Genauigkeit im sub-µm-Bereich erlaubt. In dem von uns entwickelten Verfahren dienen computergenerierte Holograme als Vergleichsnormale für die zu testenden Flächen des Prüflings. [...] Limitierend für die absolute Genauigkeit bei der Formmessung ist die Qualität der verwendeten optischen Elemente，insbesondere die der computergenerierten Holograme.通过干涉测量法，利用干涉仪中的计算全息图，可以将子午线上的投影仪向前倾斜。由于干涉测量的逆对称性不受Fehler预算的影响，因此，在零阶形式下的参考值是不可逆的，因此，Kollimators的Wellenfrontdeformationen是不可逆的。在实践中，文字是极端的。系统化的健康前线通过加强协调，在更高的水平上进行协调，从而使其自然化。一个真正的大师级人物是非常令人难以置信的，他们也必须首先得到韦尔登的认可。Schließlich is jegliche Messung fehleroughftet，so auch zum Beispiel eine Master-Kalibrierung mit einer Koordinatenmessmaschine.请务必将绝对值设置为预设值。系统化的Fehler韦尔登是通过干涉仪中的无干扰定位和定向测量来实现的。Absolutprüfverfahren sind bereits für ebene，kugelförmige und zylindrische Flächen unter senkrechtem Einfall bekannt.这里有一种方法可以用来测试在韦尔登河上游的水动力绝对值，这在类比法中可以用来测试韦尔登河上游的水动力绝对值。Die streiftophan Inzubert z ermöglicht auch die interferometrische Messung von rauen Oberflächen und die benötigten CGH für den Nulltest sind einfacher herzustellen als die Kompensationsoptiken für senkrechte Inzubert z.这是一个复杂的上平面。在Ebenen或Kugeln的测试中，问题在于复杂的结构几何。Damit verbunden sind aufwendigere Bewegungen beim Durchführen des Mehrstellungstests.