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高安定紫外波長変換をめざした水晶結晶によるツイン制御光素子の提案

使用石英晶体的双控制光学装置的提案，可实现高度稳定的紫外线波长转换

基本信息

批准号：
12875013
负责人：
栗村直
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Okazaki National Research Institutes
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2001
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-12875013/
关键词：
擬似位相整合水晶ツインドメイン分極反転紫外波長変換 QPM

项目摘要

13年度には、12年度に導入した応力印加装置の改良を行い、外部ファンクションジェネレータによる電気的制御を可能にした。12年度では貫通するツインの大きさが1mm角でありこれをより精密に制御するためにパルス的応力印加を可能にした。この結果印加応力の立ち上がり時間は300ミリ秒まで短縮され、応力印加時間の短縮が可能になった。またツイン生成の際に高い核成長密度を得るために、最高温度400℃であった装置を改良し、相転移点573℃を上回る600℃までの加熱を可能にした。またこれに伴って応力印加用の高温ブロックの材質を見直し、600℃においても十分な剛性と安定性を有し、研磨の可能な超硬合金を見いだした。これを用いて応力印加用の高温ブロックを改良した。また13年度には、ドライエッチング技術を用いて水晶基板を掘り込み、選択的に応力を印加する方法を採用した。反応性イオンエッチングにより周期2μm、高さ1.3μmの掘り込み構造を作製することに成功している。またこの構造において周期ツイン作製のための応力分布計算も行った。周期ツインのパターニングには応力の空間分布を制御する必要があり、十分な空間変調を得るために有限要素法を用いた計算機シュミレーションが有効であった。シュミレーション結果をもとに適切な水晶基板のエッチング深さ、エッチング部の周期に対する比、応力印加装置の周期溝の形状、など、実験による最適条件の探索を行っていく。他方シンクロトロン放射光を利用して水晶基板の深紫外光吸収特性も評価し、基板依存性も明らかにした。

In 2013, the introduction of new power generation equipment, external power generation equipment, power generation equipment, power generation, power generation, In the 12th year, it was possible to cut through the gap between the two sides by 1mm The result is that the time is shortened by 300 seconds, and the time is shortened by 300 seconds. High nuclear growth density, maximum temperature 400℃, phase shift point 573℃, heating possibility High temperature, high temperature, high rigidity, high stability, high abrasive strength, high hardness, high hardness, This is the first time that I've ever been in a position to do this. In 2013, the technology of crystal substrate was adopted, and the technology of crystal substrate was adopted. The structure of the anti-reflection film with a period of 2μm and a height of 1.3μm was successfully manufactured. Calculation of force distribution in the structure of the system The spatial distribution of periodic forces is controlled by finite element method. The results of the experiment show that the optimum conditions for the shape, height and operation of the periodic groove of the crystal substrate are explored. The other side of the crystal substrate emits light. The deep ultraviolet absorption characteristics of the crystal substrate are evaluated. The substrate dependence is discussed.