Aufeinander abgestimmte intramolekular adduktstabilisierte Alkoxid- und Amid-Prekursoren für MOCVD von oxidischen ferroelektrischen Schichtstrukturen

用于氧化物铁电层结构 MOCVD 的匹配分子内加合物稳定的醇盐和酰胺前体

• 批准号: 5313770
• 负责人: Professorin Dr. Anjana Devi
• 金额: --
• 依托单位: Forschungszentrum Jülich
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2007-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5313770?language=en
• 关键词: Aufeinander; abgestimmte; intramolekular; adduktstabilisierte; Alkoxid

Dünne Schichten aus sehr verschiedenen Materialien und mit verschiedenster Mikrostruktur, die von epitaktischen über verschieden texturierte polykristalline Schichten bis zu amorphen Filmen reicht, werden für komplexe Strukturen und Bauelemente benötigt. Im Rahmen des vorgeschlagenen Projektes sollen oxidische ferroelektrische Schichten aus Barium-Strontium-Titanat (BST), Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) und anderen Materialien untersucht werden. Dies beinhaltet die Untersuchung von Nukleation und Wachstum, der konformen Abscheidung und der Heterostrukturen. Für die definierte, kinetisch kontrollierte MOCVD ist dabei das abgestimmte Design der individuellen Precursoren hinsichtlich des Zerfallsverhaltens besonders wichtig. Aus precursorchemischer Sicht müssen daher Fragen der Reinheit, der Flüchtigkeit, der Langzeitstabilität, des Aggregationsverhaltens sowie der Reaktivität und Zersetzungskinetik beantwortet werden. Aufgrund der Komplexität des Problemfeldes, speziell bei der kombinierten Abscheidung, soll beim Precursordesign von bekannten Leitstrukturen ausgegangen werden, die in intelligenter Weise systematisch variiert werden sollen. Dabei ist die Optimierung der Kombination individueller Precursoren das Hauptanliegen. Beim Design der Precursoren soll ganz bewußt auf das Konzept donorfunktionalisierter und im sterischen Anspruch variabel einstellbarer Alkoxidliganden zurückgegriffen werden, um möglichst einheitliche Systeme für alle Metallkomponenten hinsichtlich Struktur und Reaktivität zu erhalten.

<s:1> nne Schichten aus sehr verschiedenen materials and mit verschiedenter microstrukturr, die von epitaktischen； der verschieden texturierte多晶Schichten bis zu amorphen film reicht， werden fre复合物struckturen and Bauelemente benötigt。研究了钡-锶-钛（BST）、锆-钛（PZT）及其它材料的氧化特性。die beinhaltet die Untersuchung von nucleation and Wachstum, der konformen Abscheidung and der heterostructuren。在<s:1>模具定义器，运动控制器（MOCVD）的总体设计中包含单个前驱体的总体设计。前体化学研究中心（Sicht msssen daher Fragen der Reinheit, der flilchtigkeit, der Langzeitstabilität， des Aggregationsverhaltens sowie der Reaktivität和Zersetzungskinetik beantwortet werden）。Aufgrund der Komplexität des Problemfeldes, speziell bei der kombinierten Abscheidung, solsolm Precursordesign von bekannten Leitstrukturen ausgegangen werden, die in intelligent wise systematisch variverden sollen。大贝斯特在组合个体前兆下的优化。北京设计与设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计与工程设计学院设计